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芯片制造的步驟

倚欄清風(fēng)L ? 來(lái)源:倚欄清風(fēng)L ? 作者:倚欄清風(fēng)L ? 2025-11-14 11:14 ? 次閱讀
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簡(jiǎn)單地說(shuō),芯片的制造過(guò)程可以大致分為沙子原料(石英)、硅錠、晶圓、光刻(平版印刷)、蝕刻、離子注入、金屬沉積、金屬層、互連、晶圓測(cè)試與切割、核心封裝、等級(jí)測(cè)試、包裝上市等諸多步驟,而且每一步里邊又包含更多細(xì)致的過(guò)程。

1:芯片是一塊集成電路,是運(yùn)算核心和控制核心。它的功能主要是解釋指令以及處理計(jì)軟件中的數(shù)據(jù)。當(dāng)然,芯片的制造過(guò)程也代表了當(dāng)今世界科技發(fā)展的最高水平。

2:硅是地殼內(nèi)第二豐富的元素,沙子中含有25%的硅,是地殼中第二多元素,在經(jīng)過(guò)氧化之后就成為了二氧化硅,在沙子中,尤其是石英中二氧化硅的含量非常高,這就是制造半導(dǎo)體的基礎(chǔ)。

3:在采購(gòu)原材料沙子后,將其中的硅進(jìn)行分離,多余的材料被廢棄,再經(jīng)過(guò)多個(gè)步驟進(jìn)行提純,以最終達(dá)到符合半導(dǎo)體制造的質(zhì)量,這就是所謂的電子級(jí)硅。它的純度是非常大的,每10億個(gè)硅原子中只有一個(gè)是不符合要求的。

4:一個(gè)被鑄成錠后的電子級(jí)硅的單晶體,重量大約為100千克,硅的純度達(dá)到了99.9999%。

5:鑄好硅錠后,將進(jìn)入切割階段,將整個(gè)硅錠切成一片一片的圓盤(pán),也就是我們俗稱(chēng)的晶圓,這樣求切割出來(lái)的是非常薄的,隨后,晶圓就要進(jìn)行拋光,直至完美,表面如鏡面一樣光滑。

6:晶圓上涂上藍(lán)色液體,這是類(lèi)似膠片拍照時(shí)的光阻劑,晶圓不停旋轉(zhuǎn),以使其將液體均勻涂抹在晶圓上,并且涂層也是非常薄的。

7:用紫外光照射晶圓。紫外光先通過(guò)一個(gè)帶有“圖案”的“擋板”,其功能在于遮掉部分光線,使光線特定的形狀照射在晶圓上。中間的透鏡用于將光線匯聚于一個(gè)很小的范圍。紫外光照射到感光物質(zhì)上,發(fā)生類(lèi)似于膠片感光的化學(xué)反應(yīng),使感光物質(zhì)變得可溶。這樣其實(shí)就將“擋板”上的“圖案”,其實(shí)就是微電路的版圖形狀“影印”在了晶圓上。

8:晶體管相當(dāng)于開(kāi)關(guān),控制著電流的方向。晶體管是芯片的基本組成單位?,F(xiàn)在的工藝可以在一個(gè)針尖大小的面積內(nèi)制造30萬(wàn)個(gè)晶體管。

9:光刻過(guò)程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致。然后光刻,并洗掉曝光的部分。

10:再重新涂上藍(lán)色的光阻劑(藍(lán)色),并為下一步做好準(zhǔn)備。圖中藍(lán)色部分為有感光材料保護(hù)的部分。

11:離子注入,也就是用離子轟擊暴露地區(qū)的硅片,用離子撞擊植入硅片的方式來(lái)改變這些地區(qū)硅的導(dǎo)電性,離子需要非常高速的撞擊到晶圓表面上,通過(guò)電場(chǎng)加速后的離子速度可以達(dá)到每小時(shí)30萬(wàn)公里。

12:當(dāng)離子注入后,光阻層將被移除,綠色部分的材料會(huì)摻入晚來(lái)的原子。

13:這時(shí)晶體管是接近完成,晶體管洋紅色表面是保溫層,上面有三個(gè)洞,這三個(gè)洞將用來(lái)填補(bǔ)銅,以便連接到其他晶體管。

14:在晶圓放入硫酸銅溶液這個(gè)階段,銅離子的沉積到晶體管,這個(gè)過(guò)程被稱(chēng)為電鍍。游離的銅離子分別到晶圓的積極終端(陽(yáng)極)和消極終端(陰極)。

15:將多余的銅拋光掉,留下了非常薄的一層銅。

16:多金屬層是建立各種晶體管的互連,雖然芯片看起來(lái)十分平坦,但實(shí)際上可能有超過(guò)20層,形成復(fù)雜的電路。

17:在這部分準(zhǔn)備將晶圓建立第一個(gè)功能測(cè)試,在這個(gè)階段的測(cè)試模式中輸入每個(gè)單芯片,并監(jiān)測(cè)比較芯片的反應(yīng),然后丟棄有瑕疵的內(nèi)核芯片。

18:將晶圓切割成塊,每一塊就是芯片的內(nèi)核。

19:這是一個(gè)被分離出來(lái)的的內(nèi)核,Core i7,由上一道工序切割而成。

20:將襯底(基片針腳)、內(nèi)核、散熱片堆疊在一起,就形成了我們看到的芯片的樣子。

21:最后會(huì)對(duì)每個(gè)芯片進(jìn)行測(cè)試?;跍y(cè)試的結(jié)果,將測(cè)試OK的芯片歸屬一類(lèi),

審核編輯 黃宇

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