近年來，微型化、柔性化、智能化等多功能集成電子器件在人工智能、生物醫(yī)療、集成電路等領(lǐng)域取得了顯著的發(fā)展。其中，能夠同時感知觸覺和溫度的柔性應(yīng)力/應(yīng)變-溫度傳感器，因其在電子皮膚、柔性傳感器等發(fā)展中的關(guān)鍵作用而受到廣泛關(guān)注。傳統(tǒng)的應(yīng)力/應(yīng)變-溫度傳感器的設(shè)計策略主要是將兩種具有應(yīng)力/應(yīng)變和溫度傳感功能（熱電/熱釋電和壓電/壓阻效應(yīng)等）的材料集成構(gòu)建成疊層結(jié)構(gòu)的傳感器件。然而，此類器件通常以“一對一”模式運行，結(jié)構(gòu)設(shè)計和數(shù)據(jù)采集復(fù)雜，且需要外部電源驅(qū)動，其長期穩(wěn)定監(jiān)測的可靠性不佳。此外，大多數(shù)關(guān)于應(yīng)變傳感的研究往往忽視了應(yīng)變率傳感（施加應(yīng)變的速率）的重要作用，這是動態(tài)場景中的關(guān)鍵因素。即使在相同的應(yīng)變大小下，由于應(yīng)變和應(yīng)變率相互耦合，應(yīng)變率的變化也會顯著影響材料的應(yīng)變響應(yīng)特性。傳統(tǒng)傳感器無法通過單一材料和簡單結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)對多參數(shù)變量的實時監(jiān)測，即實現(xiàn)材料的多功能化傳感具有很大挑戰(zhàn)。

近期，中國科學(xué)院金屬研究所沈陽材料科學(xué)國家研究中心邰凱平研究員帶領(lǐng)團隊研制出一種基于碲納米線（Te-NWs）熱電-壓電耦合效應(yīng)的柔性、單通道、應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感器。研究人員通過材料調(diào)控和結(jié)構(gòu)設(shè)計克服了以往傳統(tǒng)熱電材料中熱電和壓電信號無法在同一方向獲得的難題，在傾斜生長的特殊網(wǎng)狀Te-NWs結(jié)構(gòu)中，實現(xiàn)了壓電信號和熱電信號在面外方向的同時感知和輸出。傳感器具有優(yōu)異的性能，應(yīng)變傳感靈敏度為0.454 V、應(yīng)變率傳感靈敏度為0.0154 V s、溫度傳感靈敏度達(dá) 225.1 μV K-1，優(yōu)于已報道的同類多模態(tài)傳感器。同時，結(jié)合第一性原理計算，證明了Te原子電荷的變化引起的壓電效應(yīng)，以及外部電場（如熱電勢等）對于壓電信號的調(diào)制作用機制。該工作為基于多物理場耦合效應(yīng)構(gòu)建柔性、單通道、多模態(tài)傳感器提供了新思路，也為耦合“納米發(fā)電機”開辟了新的應(yīng)用方向。。

圖1、柔性單通道應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感器件設(shè)計和顯微結(jié)構(gòu)特征

圖2、柔性單通道應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感機制

圖3、應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感器件性能測試曲線

圖4、柔性單通道應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感器件應(yīng)用演示驗證

審核編輯 黃宇