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中國(guó)移動(dòng),控制了一條國(guó)產(chǎn) MEMS 芯片產(chǎn)線

傳感器專家網(wǎng) ? 來(lái)源:傳感器專家網(wǎng) ? 作者:傳感器專家網(wǎng) ? 2026-01-06 18:30 ? 次閱讀
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近日,我國(guó)通信巨頭中國(guó)移動(dòng),通過(guò)旗下的兩支產(chǎn)業(yè)基金——北京中移數(shù)字新經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)基金合伙企業(yè)(有限合伙)、上海中移數(shù)字轉(zhuǎn)型產(chǎn)業(yè)私募基金合伙企業(yè)(有限合伙),入股安徽華鑫微納集成電路有限公司(下文簡(jiǎn)稱“華鑫微納”)。 與中國(guó)移動(dòng)同期投資華鑫微納的,還有中建材(安徽)新材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)。 本次,中國(guó)移動(dòng)不僅僅只是財(cái)務(wù)投資華鑫微納這么簡(jiǎn)單。 wKgZO2lc5VWAKmnPAAIpO8U3LmI480.png ?雖然公開(kāi)資料未披露本次中國(guó)移動(dòng)、中建材投資華鑫微納的投資金額和股權(quán)比例,但隨著這兩家巨頭成為新股東,芯的(上海)集成電路技術(shù)有限公司等6家機(jī)構(gòu)集體退出股東序列。 而據(jù)此前公開(kāi)資料顯示,芯的公司等6家機(jī)構(gòu)共計(jì)持有華鑫微納股權(quán)比例約為66.5859%。 此外,隨著本次股權(quán)變更,華鑫微納多位公司高管也進(jìn)行調(diào)整,公司注冊(cè)地址亦進(jìn)行變更。據(jù)公眾號(hào)【通信頭條】披露消息顯示——該消息未經(jīng)證實(shí),中國(guó)移動(dòng)已委派張偉出任華鑫微納新任董事長(zhǎng)。 種種信息顯示,中國(guó)移動(dòng)或已全面入主這家新興的國(guó)產(chǎn)MEMS芯片代工企業(yè)。 中國(guó)移動(dòng),為什么要控制一條MEMS芯片產(chǎn)線?為什么選擇華鑫微納? wKgZO2lc5VWAaBWxAAFOXnic4vE022.png ?

光通信、具身智能、AI……中國(guó)移動(dòng)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型,MEMS芯片必不可少

中國(guó)移動(dòng)作為中國(guó)三大運(yùn)營(yíng)商之首,進(jìn)入5G時(shí)代后,其增長(zhǎng)愈發(fā)緩慢,逐漸淪為純粹的數(shù)據(jù)傳輸供應(yīng)商。 為了建立新的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)點(diǎn),增強(qiáng)在未來(lái)智能時(shí)代的市場(chǎng)地位,近年來(lái),中國(guó)移動(dòng)加速了其戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型之路。 目前,中國(guó)移動(dòng)正從傳統(tǒng)的通信服務(wù)、云網(wǎng)融合,通過(guò)資本投資、產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟等渠道,利用其雄厚的資金和行業(yè)影響力,進(jìn)入具身智能、半導(dǎo)體芯片等核心領(lǐng)域,打通未來(lái)智能時(shí)代的全產(chǎn)業(yè)鏈。 資料顯示,截至2025年7月,中國(guó)移動(dòng)已在信息服務(wù)產(chǎn)業(yè)鏈投資布局企業(yè)超500家,投資規(guī)模超2000億元,重點(diǎn)聚焦人工智能、衛(wèi)星通信、低空經(jīng)濟(jì)等前沿領(lǐng)域。在2025年7月,中國(guó)移動(dòng)具身智能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心牽頭,聯(lián)合宇樹(shù)、智元、銀河通用、鈦虎、云深處、戴盟、星動(dòng)紀(jì)元、眾擎等核心生態(tài)伙伴,共同發(fā)起“具身智能產(chǎn)業(yè)合作計(jì)劃”,并在12月份,中國(guó)移動(dòng)旗下鏈長(zhǎng)基金,獨(dú)家億元投資國(guó)產(chǎn)觸覺(jué)傳感器初創(chuàng)企業(yè)戴盟機(jī)器人。相關(guān)信息參看中國(guó)移動(dòng),獨(dú)家投了深圳一家傳感器初創(chuàng)企業(yè) 顯然,入主華鑫微納,亦是中國(guó)移動(dòng)戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型的核心一環(huán)。 以MEMS技術(shù)為核心的微納智能傳感器,是未來(lái)智能時(shí)代數(shù)據(jù)采集的關(guān)鍵入口,亦是具身智能、人形機(jī)器人的重要感知部件。 常見(jiàn)的MEMS器件主要分為MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器,包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。 wKgZO2lc5VWAI8FiAAExIBzDwPo134.png ?在具身智能機(jī)器人領(lǐng)域,MEMS技術(shù)是機(jī)器人感知系統(tǒng)的重要組成,機(jī)器人需要感知環(huán)境(如位置、姿態(tài)、力、溫度、氣體等),MEMS集成了加速度計(jì)、陀螺儀、壓力傳感器、力傳感器等傳感器,可以為機(jī)器人提供與外部環(huán)境的交互。相關(guān)信息參看院士團(tuán)隊(duì)最新綜述:MEMS技術(shù)在具身智能機(jī)器人中應(yīng)用的現(xiàn)狀與挑戰(zhàn) wKgZO2lc5VaAPkUzAAiKkHhXEag438.png 在通信領(lǐng)域,MEMS技術(shù)是射頻芯片、光通信的重要基礎(chǔ)技術(shù)。射頻MEMS器件分為MEMS濾波器、MEMS開(kāi)關(guān)、MEMS諧振器等。 射頻前端模組主要由濾波器、低噪聲放大器、功率放大器、射頻開(kāi)關(guān)等器件組成,其中濾波器是射頻前端中最重要的分立器件,而MEMS技術(shù)是5G/6G BAW濾波器的核心制造工藝。

在光通信系統(tǒng)中,需要用光開(kāi)關(guān)來(lái)實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的路由和交換,MEMS光開(kāi)關(guān)可以實(shí)現(xiàn)高速(納秒級(jí)響應(yīng))、低損耗(<1dB)、高可靠性的功能,是大容量光通信系統(tǒng)中的關(guān)鍵器件。 在2025年末,谷歌的TPU以其AI推理訓(xùn)練能力,震驚全球AI屆,甚至撼動(dòng)了英偉達(dá)GPU地位。 谷歌TPU集群依賴于光電路交換(OCS)網(wǎng)絡(luò)的高吞吐量,OCS的功能核心則基于MEMS微鏡技術(shù)。 wKgZO2lc5VaAKtfXAAYZ67_Cufg054.png

▲谷歌TPU集群及OCS連接示意圖

由此,MEMS技術(shù)串聯(lián)起具身智能、機(jī)器人、光通信、5G/6G射頻芯片、AI芯片等等前沿領(lǐng)域——這些領(lǐng)域正是未來(lái)智能時(shí)代的所在,正是中國(guó)移動(dòng)戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型的方向。 為什么選擇華鑫微納? 投資超50億元,發(fā)改委、工信部等關(guān)注的國(guó)家集成電路重大項(xiàng)目,產(chǎn)能達(dá)3萬(wàn)片/月,擁有MEMS微鏡等全面的工藝研發(fā)能力 這或許于華鑫微納在MEMS產(chǎn)業(yè)的技術(shù)定位有關(guān)。 華鑫微納成立于2022年3月,項(xiàng)目總投資約50.6億元,產(chǎn)線位于中國(guó)(蚌埠)傳感谷東側(cè)地塊,項(xiàng)目建設(shè)用地150余畝,分二期建設(shè),一期總建筑面積約75000平方米,主要包含生產(chǎn)廠房、動(dòng)力廠房、生產(chǎn)研發(fā)樓、倉(cāng)庫(kù)等。 2022年11月,華鑫微納MEMS芯片產(chǎn)線項(xiàng)目獲得國(guó)家發(fā)改委審批,國(guó)家集成電路生產(chǎn)力布局的重大項(xiàng)目,也是發(fā)改委、工信部、安徽省關(guān)注的重大工程項(xiàng)目,項(xiàng)目目標(biāo)通過(guò)自主可控的關(guān)鍵核心技術(shù)推動(dòng)中高端MEMS器件的國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程。 華鑫微納定位于8英寸MEMS智能傳感器核心器件制造平臺(tái),集成硅基MEMS、壓電MEMS、CMOS-MEMS單片集成及2.5D/3D微系統(tǒng)技術(shù)于一體的開(kāi)放式、定制化柔性MEMS芯片生產(chǎn)線,擁有慣性傳感器、光MEMS執(zhí)行器(包括光MEMS微鏡、激光雷達(dá)掃描鏡、光通信微鏡等)、環(huán)境傳感器(壓力、溫度、氣體、流量等)以及MEMS微流控、MEMS噴墨打印頭、MEMS時(shí)鐘諧振器等全面、完善的MEMS產(chǎn)品的工藝研發(fā)和量產(chǎn)能力 wKgZO2lc5VaAWamFAAGqfHY7kQ4097.png 相比國(guó)內(nèi)同類MEMS產(chǎn)線,華鑫微納在產(chǎn)線自動(dòng)化方面處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位,部署了智慧能源、數(shù)字孿生、智能倉(cāng)儲(chǔ)等系統(tǒng),已建成國(guó)內(nèi)首條全自動(dòng)天車系統(tǒng)的8英寸晶圓產(chǎn)線,實(shí)現(xiàn)超90%自動(dòng)化率和近無(wú)人化生產(chǎn)。 華鑫微納MEMS芯片產(chǎn)線在2023年3月開(kāi)展基礎(chǔ)施工,同年8月份廠房封頂,2024年9月份設(shè)備進(jìn)場(chǎng),2025年3月份完成工藝、設(shè)備調(diào)試,同月,華鑫微納MEMS芯片產(chǎn)線第一片晶圓下線,產(chǎn)線建設(shè)歷時(shí)2年時(shí)間。 產(chǎn)能方面,華鑫微納達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)月產(chǎn)8英寸晶圓1萬(wàn)片,到2027年將達(dá)到規(guī)劃月產(chǎn)3萬(wàn)片。 wKgZO2lc5VeAd5SqAAsl3k7Y6g0251.png▲華鑫微納MEMS晶圓片展示 團(tuán)隊(duì)超20年MEMS芯片研發(fā)經(jīng)驗(yàn),體硅工藝領(lǐng)先,聚焦3大類MEMS產(chǎn)品
華鑫微納團(tuán)隊(duì)擁有21年的MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)經(jīng)驗(yàn),主要基于體硅工藝研發(fā)陀螺儀、加速度計(jì)、光MEMS微鏡等高性能MEMS器件。 體硅工藝是MEMS器件三大制造工藝之一,MEMS制造工藝主要包括表面微加工技術(shù)、體微加工技術(shù)(體硅工藝)、LIGA技術(shù)等,目前應(yīng)用范圍最廣、技術(shù)最成熟的為前兩者。相關(guān)資料參看《MEMS傳感器芯片是怎樣被制造出來(lái)的? 對(duì)未來(lái)華鑫微納的MEMS代工業(yè)務(wù)規(guī)劃,據(jù)華鑫微納副總經(jīng)理張勝兵介紹,華鑫微納聚焦3大部分: 第一類為成熟產(chǎn)品,包括硅麥克風(fēng)等消費(fèi)級(jí)MEMS傳感器,以及壓力、溫度等環(huán)境類MEMS傳感器產(chǎn)品,這部分產(chǎn)品將是華鑫微納未來(lái)代工業(yè)務(wù)出量的大頭,預(yù)計(jì)占據(jù)產(chǎn)能的50%~60%。 第二類為核心產(chǎn)品,將是華鑫微納高利潤(rùn)的來(lái)源,主要聚焦中高性能的汽車級(jí)、工業(yè)級(jí)傳感器,譬如車規(guī)級(jí)壓力、慣性傳感器,工業(yè)級(jí)MEMS光開(kāi)關(guān)、微鏡、MEMS諧振器等,這也是華鑫微納的拳頭產(chǎn)品,預(yù)計(jì)占據(jù)產(chǎn)能的30%~40%。 wKgZO2lc5VeAZcBoAAPQuxrW07c202.png 第三類為戰(zhàn)略產(chǎn)品,主要為壓電MEMS產(chǎn)品,華鑫微納布局了壓電噴墨頭、壓電微流控等器件,以及電容式MEMS超聲波換能器(CMUT)、微泵、多光譜成像等等先進(jìn)前沿的MEMS產(chǎn)品技術(shù),預(yù)計(jì)占據(jù)產(chǎn)能的5%~10% 從成熟產(chǎn)品、核心產(chǎn)品到戰(zhàn)略產(chǎn)品,從消費(fèi)級(jí)MEMS到車規(guī)級(jí)、工業(yè)級(jí)MEMS,再到壓電MEMS、CMUT等前沿MEMS產(chǎn)品,華鑫微納構(gòu)建了清晰的階梯級(jí)產(chǎn)品規(guī)劃,這個(gè)戰(zhàn)略規(guī)劃也展現(xiàn)了華鑫微納的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。 據(jù)張勝兵介紹:可以看到,國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)品真正成熟能夠上量的,目前大概有三類:麥克風(fēng)、濾波器和消費(fèi)級(jí)壓力傳感器,但在高性能壓電、慣性、微鏡、噴墨打印頭、時(shí)鐘諧振器等等中高端MEMS器件,實(shí)際上國(guó)內(nèi)并沒(méi)有完全實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),這些就是我們的優(yōu)勢(shì)。我們團(tuán)隊(duì)以體硅工藝起家,擁有深厚的技術(shù)沉淀,工藝技術(shù)上完全可以對(duì)標(biāo)國(guó)外的MEMS巨頭,譬如TI、Silex、博世等,我們完全可以實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)性能上的對(duì)標(biāo),并且在靜電微鏡等一些高端MEMS技術(shù)領(lǐng)域,我們還領(lǐng)先了很多企業(yè)?!?/span>
結(jié)語(yǔ) 種種跡象表明,中國(guó)移動(dòng)這位通信巨頭,親自下場(chǎng),控制了一條中高端的國(guó)產(chǎn)8英寸MEMS 芯片生產(chǎn)線。 隨著智能時(shí)代的到來(lái),具身智能、機(jī)器人、AI、光通信、5G/6G加速普及,MEMS作為這些領(lǐng)域的基礎(chǔ)制造技術(shù),充滿想象空間。
審核編輯 黃宇

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    后摩智能入選中國(guó)移動(dòng)AI能力聯(lián)合艦隊(duì)

    在第八屆數(shù)字中國(guó)建設(shè)峰會(huì)期間,中國(guó)移動(dòng)正式發(fā)布 “AI 能力聯(lián)合艦隊(duì)”。作為存算芯片領(lǐng)域的先鋒,后摩智能憑借顛覆式創(chuàng)新技術(shù)與強(qiáng)勁的算力支持能力,成功入選
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    壁仞科技亮相2025中國(guó)移動(dòng)云智算大會(huì)

    此前,4月10日至11日,以“由云向智,共繪算網(wǎng)新生態(tài)”為主題的2025中國(guó)移動(dòng)云智算大會(huì)在江蘇蘇州舉行。大會(huì)期間,中國(guó)移動(dòng)聯(lián)合壁仞科技、中興通訊等合作伙伴正式發(fā)布“中國(guó)移動(dòng)智算體機(jī)
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    華為助力中國(guó)移動(dòng)全面升級(jí)“九州”算力互聯(lián)網(wǎng)

    中國(guó)移動(dòng)云智算大會(huì)期間,以“智算啟新,安全筑基“為主題的智算基礎(chǔ)設(shè)施及安全峰會(huì)成功舉辦。會(huì)上,中國(guó)移動(dòng)聯(lián)合華為等重磅發(fā)布《“九州”算力互聯(lián)網(wǎng)(MATRIXES)“AI+”時(shí)代目標(biāo)架構(gòu)白皮書(shū)》,標(biāo)志著
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    軟通動(dòng)力獲評(píng)中國(guó)移動(dòng)“A級(jí)供應(yīng)商”稱號(hào)

    近日,中國(guó)移動(dòng)通信有限公司研究院(以下簡(jiǎn)稱“中國(guó)移動(dòng)研究院”)公布2024年度二級(jí)集采供應(yīng)商分級(jí)結(jié)果,軟通動(dòng)力憑借其卓越的數(shù)字技術(shù)實(shí)力和全棧式服務(wù)體系,在研發(fā)服務(wù)(通用類科研服務(wù))類別中榮獲A級(jí)供應(yīng)商稱號(hào),且在該類別供應(yīng)商中位
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