導(dǎo)語：作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的其中一個環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體測試一直以來備受關(guān)注。隨著半導(dǎo)體制程工藝不斷提升，測試和驗證也變得更加重要。因此，這也是半導(dǎo)體研發(fā)從業(yè)人員必須掌握的基本技能。

近幾年，伴隨著人工智能、大數(shù)據(jù)及物聯(lián)網(wǎng)等新一代信息技術(shù)的發(fā)展，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)又迎來了一輪景氣周期。為了解決需求及供給不匹配的矛盾，我國正在大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，以期實現(xiàn)國產(chǎn)替代。自2014年大基金實施以來，我國半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈得到了快速發(fā)展，未來也將不斷強化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)地位。

半導(dǎo)體測試愈發(fā)重要

隨著技術(shù)發(fā)展，半導(dǎo)體芯片晶體管密度越來越高，相關(guān)產(chǎn)品復(fù)雜度及集成度呈現(xiàn)指數(shù)級增長，這對于芯片設(shè)計及開發(fā)而言是前所未有的挑戰(zhàn)。另一方面，隨著芯片開發(fā)周期的縮短，對于流片的成功率要求非常高，任何一次失敗，對企業(yè)而言都是無法承受的。為此，在芯片設(shè)計及開發(fā)過程中，需要進行充分的驗證和測試。除此之外，半導(dǎo)體制程工藝不斷提升，需要面臨大量的技術(shù)挑戰(zhàn)，測試和驗證也變得更加重要。

與此同時，新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展也進一步凸顯半導(dǎo)體測試的重要性。例如，在國內(nèi)外廠商的大力推動下，5G手機將會在2019年出現(xiàn)。隨著通信速度的大幅提升，對基帶和射頻前端都帶來前所未有的挑戰(zhàn)。由于需要支持更多的模式，射頻前端也將集成更多的模塊如功率放大器，低噪聲放大器（LNA），雙工器和天線開關(guān)等，并將其封裝在單個組件中。在研發(fā)設(shè)計及生產(chǎn)過程中，測試就變得非常重要。只有精確測量組件的各個參數(shù)，才能相應(yīng)的優(yōu)化設(shè)計方案，及提升產(chǎn)品生產(chǎn)成功率。

如何進行半導(dǎo)體測試？

對于半導(dǎo)體測試而言，雖然在批量生產(chǎn)、實驗室、晶圓等環(huán)節(jié)都需要用到，相關(guān)環(huán)節(jié)也比較復(fù)雜，但是電性能測試則是最為基本的環(huán)節(jié)。任何半導(dǎo)體器件或模組，在研發(fā)、設(shè)計及生產(chǎn)過程中，都免不了這一環(huán)節(jié)。

在電性能測試環(huán)節(jié)，目前最先進的測試方案就是源測量單元(SMU)。SMU是一種精密電源儀器，具備電壓輸出和測量以及電流輸出和測量功能。這種對電壓和電流的控制使您可以靈活地通過歐姆定律計算電阻和功率?？赏瑫r控制與量測高精度電壓、電流，專為消費性電子產(chǎn)品、IC設(shè)計與驗證、生醫(yī)、學(xué)術(shù)研究等實驗室提供電性能測試。

目前，市場上能夠提供源測量單元(SMU)廠商也不少，相關(guān)產(chǎn)品也有很多。然而，并不是測試儀器越昂貴，測試準確性就越高。想要真正意義上掌握源測量單元(SMU)，必須首先清楚誤差產(chǎn)生的原因，以及減小誤差的有效途徑。

對于半導(dǎo)體芯片而言，一次流片的成本高達數(shù)百萬人民幣，測試儀器參數(shù)的任何微小調(diào)整就有可能產(chǎn)生不同的結(jié)果?？芍^是失之毫厘，差之千里！為此，我們特意為半導(dǎo)體從業(yè)人員準備了一份源測量單元(SMU)實用指南，針對測量精度、測量速度、電線電阻消除、偏移電壓補償、最小化外部噪聲、避免電流泄露以及校準等環(huán)節(jié)進行了具體說明，希望對大家有所幫助。