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功率VDMOS 器件的工作條件通常惡劣,因此其可靠性研究格外重要。本文總結(jié)了目前眾多VDMOS 器件可靠性研究的結(jié)果,著重討論了功率VDMOS 在高溫大電壓的工作環(huán)境下,關(guān)鍵電學參數(shù)的漂移及其失效機理,擊穿特性的異常和改善辦法,同時對鍵合及金屬化過程中引發(fā)的失效也做了簡單論述。

VDMOS
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