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簡(jiǎn)介：針對(duì)直徑檢測(cè)及控制技術(shù)向大直徑化硅棒發(fā)展的需求，設(shè)計(jì)一種低成本，功能適中的晶體生長(zhǎng)控徑系統(tǒng)。該系統(tǒng)以ARM9系列的S3C2440為核心，基于Linux嵌入式操作系統(tǒng)設(shè)計(jì)一種圖像處理方法，根據(jù)亞像素原理計(jì)算出硅棒直徑，并為上位機(jī)提供具有特定電平的模擬信號(hào)，從而控制直拉單晶硅生長(zhǎng)速度，使系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)可讀化。實(shí)驗(yàn)表明，該系統(tǒng)能夠很好地解決圖像處理問(wèn)題，圖像處理的準(zhǔn)確率滿足直徑檢測(cè)系統(tǒng)的要求，且實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單，成本較低，特別適合于對(duì)精度要求較嚴(yán)格的檢測(cè)系統(tǒng)。
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