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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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振動監(jiān)測 (VM) 已經問世很長一段時間,并且已被用于監(jiān)測機器、設備或結構的健康狀況。在機器運行過程中,可以利用專用傳感器收集其振動數據以對其進行實時監(jiān)...
2022-09-29 標簽:mems振動傳感器振動監(jiān)測系統(tǒng) 2.3k 0
基于節(jié)點存儲路由信息的無線傳感器網絡覆蓋連通性的判定算法與研究
集成傳感器技術、微機電系統(tǒng)(MEMS)技術、無線通信技術和分布式信息處理技術的無線傳感器網絡(WSN,wirelesssensornetworks)是當...
什么是圖像穩(wěn)定?圖像穩(wěn)定已成為智能手機必備功能
智能手機相機技術是由許多部件構成的,包括傳感器、鏡頭和激光對焦系統(tǒng)等。
MEMS傳感器是令人驚奇的小器件,大小僅為幾平方毫米,通常包含兩個芯片。一個是傳感器芯片,通常來說MEMS器件提供運動或壓力信息,但它也可以用作磁性固態(tài)傳感器。
我們曾在之前發(fā)布的文章《解讀MEMS麥克風技術與設計》中指出, MEMS麥克風的需求是由客戶所要求的音頻功能驅動的,如立體聲、語音識別、聲音指向性、噪音...
工業(yè)自動化是一個突出的業(yè)務,它正朝著一個新的方向邁進。對品種、定制產品和產品差異化的需求不斷增加,使得制造商很難批量生產零部件。
簡介: 本文主要介紹了一種應用諧振原理進行測量的密度測量方法,詳細的分析了這種密度測量方法的優(yōu)缺點所在 ? 1. 利用諧振進行密度測量的原理 諧振密度傳...
智能織物改變傳統(tǒng)醫(yī)療保健,技術交叉融合支持
人口老齡化的趨勢已經被媒體廣泛報道,全球人口出生率持續(xù)下降加快了老齡化。這些趨勢共同意味著未來幾十年能夠照顧更大基數老年人口的人數將會更少。在短期內,沒...
MEMS技術是隨著集成電路,尤其是超大規(guī)模集成電路發(fā)展起來的一門新技術,經過幾代科學家的努力,MEMS如今在不同的行業(yè)和不同的領域相繼規(guī)?;a,展現(xiàn)了...
MEMS慣性傳感器在當今的眾多個人電子設備中發(fā)揮著重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、強大功能性和卓越性能,這些因素促使著智能手機、游戲控制器、活動跟蹤...
2014-09-05 標簽:MEMS振動監(jiān)控ADIS16229 2.2k 0
微機電系統(tǒng)與專用集成電路的結合也在同時走向成熟,這將帶來前所未有的產品。傳感器的微型化推動了遠程醫(yī)療、智能家居、智能城市、先進制造設施、手持可穿戴設備等...
2024-01-03 標簽:mems晶體管微機電系統(tǒng) 2.2k 0
據麥姆斯咨詢報道,近期,來自南京理工大學的研究人員于《新型工業(yè)化》期刊發(fā)表綜述文章,總結了體微加工技術和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法...
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