近日，上海市發(fā)改委公布2021年上海市重大建設項目清單，涵蓋了上海未來社會發(fā)展和與全球產(chǎn)業(yè)接軌所必需的幾個產(chǎn)業(yè)，共166個項目，其中包括中芯國際（SMIC）在內(nèi)的7家相關企業(yè)也入選。

項目清單顯示，在建的項目除了中芯國際的12英寸芯片SN1項目，還有華力微電子的12英寸先進生產(chǎn)線、積塔半導體特色工藝生產(chǎn)線、超硅半導體300mm集成電路硅片全自動智能化生產(chǎn)線、精測半導體全球研發(fā)總部和裝備制造基地等項目。另外還有新開工的項目，包括格科半導體12英寸CIS集成電路研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目、鼎泰半導體12英寸自動化晶圓制造中心項目、新昇半導體300mm集成電路硅片研發(fā)與先進制造新建項目、上海天岳碳化硅半導體材料項目以及上海臨港化合物半導體4英寸、6英寸量產(chǎn)線等項目。

據(jù)Wccftech報道，中芯國際的SN1晶圓廠位于浦東，將建立300mm晶圓生產(chǎn)線，重點發(fā)展14nm以下的先進工藝技術節(jié)點，投資120億美元。建成后，每月產(chǎn)能為3.5萬片。目前中芯國際正在推進7nm工藝，由于暫時無法獲得EUV光刻機，使得下一步發(fā)展受阻。華力微電子也計劃建立12英寸晶圓生產(chǎn)線，用于生產(chǎn)更先進的集成電路。其華虹5號廠是國內(nèi)第一條全自動芯片生產(chǎn)線，涵蓋了55nm、40nm和28nm工藝節(jié)點，每月可以生產(chǎn)35000片晶圓。目前還計劃在浦東康橋鎮(zhèn)附件建設另一家晶圓廠，目標每月生產(chǎn)4萬片12英寸晶圓，覆蓋28nm到14nm工藝節(jié)點。

除了芯片制造，上下游產(chǎn)業(yè)目前國內(nèi)形成，正處于蓬勃發(fā)展時期。在這條供應鏈中，設備制造企業(yè)或許是最重要的，上海微電子等是裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈的一部分，也在為早日擺脫限制而努力向前。
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