TcWafer熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布；同時(shí)，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

TC WAFER是使用特殊加工工藝將耐高溫傳感器（即TC）鑲嵌于晶圓表面特定位置，從而可實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度實(shí)時(shí)測(cè)量的溫度傳感器。

TC（ThermoCouple）為熱電偶的簡(jiǎn)稱，Wafer即晶圓。通過TCWafer可獲得晶圓特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整體晶圓的溫度分布情況；也可用于持續(xù)監(jiān)控在熱處理制程中晶圓瞬態(tài)溫度變化，比如：升溫，降溫，恒溫過程及延遲時(shí)間等?。ǐ@得爐溫溫度的均勻性數(shù)據(jù)，從而控制良率等）。

·應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體制造廠 Fab，硅片廠，晶圓制造廠

2. 封裝測(cè)試廠

3. PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate…

4. 半導(dǎo)體設(shè)備制造商

5. 高溫工藝設(shè)備腔體溫度的監(jiān)控

半導(dǎo)體制造廠 Fab，PVD/CVD 部門、RTP 部門等使用

傳感器可以定制

高精度多通道數(shù)據(jù)采集儀
優(yōu)異的軟件功能，方便數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、趨勢(shì)繪圖和數(shù)據(jù)導(dǎo)出

我們的優(yōu)勢(shì)

精度高、交期短、服務(wù)響應(yīng)快。

審核編輯黃宇