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      10.8.5 光刻-電鍍-注塑技術(shù)（LIGA）∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》

      深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-05-24 17:05 ? 次閱讀
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      Lithographie-Galvanoformung-Abformung（LIGA）

      審稿人：北京大學(xué) 王瑋

      審稿人：北京大學(xué) 張興 蔡一茂

      https://www.pku.edu.cn

      10.8 集成微系統(tǒng)技術(shù)

      第10章 集成電路基礎(chǔ)研究與前沿技術(shù)發(fā)展

      《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊

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