三坐標(biāo)測量儀和激光干涉儀不是同一類型的東西，功能完全不一樣。

首先說一下三坐標(biāo)測量儀，三坐標(biāo)測量儀主要是用來測量各類大小工件的輪廓尺寸，有固定式的，也有關(guān)節(jié)臂式的，其中移動橋式是三坐標(biāo)最為廣泛的一種結(jié)構(gòu)形式。這種結(jié)構(gòu)特點是開敞性好，視野開闊，上下零件方便，運動速度快，精度高。Mars移動橋式三坐標(biāo)測量機配備高精度的導(dǎo)軌、測頭和控制系統(tǒng)，并結(jié)合計算機程序來自動控制檢測流程，從而計算輸出測量結(jié)果，支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉(zhuǎn)臺等，能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進行檢測，也可以對軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進行光學(xué)掃描測量。

激光干涉儀它不是測工件尺寸的，它主要是測量機床、自動化設(shè)備的定位精度和重復(fù)定位精度，目前代表品牌是chotest。

SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。