安裝新鍍膜系統(tǒng)或維護(hù)現(xiàn)有系統(tǒng)時(shí), 經(jīng)常會(huì)發(fā)生泄漏. 可能是由于連接錯(cuò)誤或忘記密封或密封件有缺陷. 氦質(zhì)譜檢漏儀的正確使用對(duì)于發(fā)現(xiàn)鍍膜產(chǎn)線泄漏和日常維護(hù)十分重要.

氦質(zhì)譜檢漏儀連接到真空鍍膜產(chǎn)線時(shí)建議考慮以下二點(diǎn)
1. 大漏檢測(cè)
真空鍍膜設(shè)備調(diào)試或維護(hù)之后出現(xiàn)的泄漏往往很大, 市場(chǎng)上常見的氦氣檢漏儀最大工作壓力通常在約 6 至 25 mbar 之間. 如果存在大量泄漏, 抽真空時(shí)有可能無法達(dá)到此壓力. 下圖展示的是一臺(tái) Si3N4 氮化硅鍍膜系統(tǒng). 在某次維護(hù)之后, 抽真空時(shí)只能達(dá)到 80 mbar 的壓力. 為了在如此高的工作壓力之下依然能夠進(jìn)行檢漏, 推薦選用上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340. ASM 340 檢漏儀特有的定性大漏檢測(cè)模式 ( 在 100 hPa 即可進(jìn)行大漏測(cè)試 ) , 借助此模式即可定位存在的漏點(diǎn).

2. 使用鍍膜系統(tǒng)自帶輔助泵, 協(xié)助抽氣
將氦質(zhì)譜檢漏儀連接到真空鍍膜產(chǎn)線的前級(jí)真空線上. 可以快速抽空大量氣體, 提高檢漏節(jié)拍, 并且可以保護(hù)檢漏儀不受熱應(yīng)力的影響, 延長(zhǎng)檢漏儀維護(hù)周期, 降低運(yùn)營(yíng)成本.

氦質(zhì)譜檢漏儀真空鍍膜生產(chǎn)線檢漏方法:
采用真空法檢漏, 設(shè)定真空模式下漏率值, 鍍膜機(jī)不需要停機(jī), 直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀, 在懷疑有漏的地方(管路, 接頭等)噴氦氣, 即可完成檢漏.

上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)參數(shù)

	型號(hào)	ASM 340 W	ASM 340 D	ASM 340 I
	進(jìn)氣口法蘭	DN25ISO-KF
	檢測(cè)氣體	氫氣和氦氣
	對(duì)氦氣4He 的最小檢測(cè)漏率	真空模式: 1X10-12mbar l/s, 吸槍模式: 5X10-9mbar l/s
	檢測(cè)模式	真空模式 (負(fù)壓) 和吸槍模式 (正壓)
	檢測(cè)氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
	無校準(zhǔn)啟動(dòng)時(shí)間	約 3 min
	響應(yīng)時(shí)間	<1 s
	Interface 接口	RS-232, 基本I/O, 現(xiàn)場(chǎng)總線選項(xiàng)和 USB
	對(duì)氦氣的抽氣速度	2.5 l/s
	進(jìn)氣口最大壓力	25 mbar		5 mbar
	前級(jí)泵抽速	油泵 15 m3/h	隔膜泵 3.4 m3/h	不含前級(jí)泵
	工作溫度	0-45°C (真空模式) 0-40 °C (吸槍模式)	0-35 °C	0-40 °C
	電壓	100-110 V AC, 50/60 Hz 200-240 V AC, 50/60 Hz	100-240 V AC, 50/60 Hz	100-240 V AC, 50/60 Hz
	功耗	850 W	600 W	350 W
	重量	56 kg	45 kg	32 kg
	尺寸	547x350x389 mm

上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用.氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點(diǎn). 滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.