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基于毫米級(jí)Au紅外輻射抑制頻率選擇表面的設(shè)計(jì)

MEMS ? 來(lái)源:紅外芯聞 ? 2023-12-29 16:21 ? 次閱讀
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基于頻率選擇表面(FSS)的紅外輻射調(diào)控被認(rèn)為是解決熱污染、實(shí)現(xiàn)雙碳目標(biāo)的有效途徑。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,武漢科技大學(xué)省部共建耐火材料與冶金國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的科研團(tuán)隊(duì)在《光學(xué)學(xué)報(bào)》期刊上發(fā)表了以“基于毫米級(jí)Au紅外輻射抑制頻率選擇表面的設(shè)計(jì)與制備”為主題的文章。該文章第一作者為李晨曦,通訊作者為李享成。

本文基于時(shí)域有限差分法(FDTD)和參數(shù)掃描法,仿真設(shè)計(jì)并優(yōu)化了一種單層方形頻率選擇表面。在頻率選擇表面結(jié)構(gòu)中引入高導(dǎo)電金屬材料Au,利用其高占空比和導(dǎo)帶自由價(jià)電子躍遷消耗入射光能量以共同增強(qiáng)紅外反射。

設(shè)計(jì)與仿真

毫米級(jí)頻率選擇表面紅外發(fā)射光譜計(jì)算模型

隨著信號(hào)探測(cè)技術(shù)的高速發(fā)展,頻率選擇表面在光波、電磁波、聲波等領(lǐng)域內(nèi)的兼容性應(yīng)用備受關(guān)注。為了實(shí)現(xiàn)多頻段選擇性調(diào)控,針對(duì)頻率選擇表面的頻域響應(yīng)模擬成為關(guān)鍵一環(huán)。然而,考慮到制備工藝和工程應(yīng)用因素,紅外/雷達(dá)、紅外/可見(jiàn)光/雷達(dá)兼容頻率選擇表面的設(shè)計(jì)與制備基本維持在毫米級(jí)尺度,跨越多數(shù)量級(jí)的頻率選擇表面結(jié)構(gòu)的頻域響應(yīng)無(wú)法直接通過(guò)仿真軟件計(jì)算得到,針對(duì)求解毫米級(jí)模型紅外光譜響應(yīng)的問(wèn)題尚未得到解決。

毫米級(jí)頻率選擇表面厚度對(duì)紅外反射率的影響

本文提出一種毫米級(jí)紅外頻率選擇表面結(jié)構(gòu),選用高電導(dǎo)率材料金(Au)作為紅外反射層,紅外透明材料石英玻璃(SiO?)作為基底。為了確定各層合適厚度,采用FDTD對(duì)Au、SiO?進(jìn)行全波數(shù)值模擬。

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圖1 FDTD擬合得到的紅外介電常數(shù)實(shí)部和虛部:(a)Au;(b)SiO?

基于圖1光學(xué)介電常數(shù)模型,研究了電磁波正入射至不同厚度薄膜表面時(shí)的反射光譜,分別如圖2、3所示。圖2模擬了厚度為0.05~5 μm的Au薄膜紅外反射光譜,圖3模擬了厚度為0.1~8 μm的SiO?薄膜紅外反射光譜,以探究材料厚度對(duì)紅外反射率的影響。

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圖2 不同厚度的Au薄膜紅外反射光譜仿真結(jié)果

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圖3 不同厚度SiO?薄膜的紅外反射光譜仿真結(jié)果

毫米級(jí)頻率選擇表面結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與紅外反射光譜仿真計(jì)算

上述研究結(jié)果驗(yàn)證了調(diào)節(jié)厚度可以影響紅外反射率的變化,從而導(dǎo)致吸收強(qiáng)度和諧振帶寬的變化,由此可確定Au、SiO?的厚度分別為0.1 μm、1 mm。另外,方形貼片具有優(yōu)良的可加工性和較大占空比,利于提高紅外反射率,故本文設(shè)計(jì)了兩個(gè)相同占空比(81%)、不同尺寸的Au方形頻率選擇表面AFSS1和AFSS2模型,其邊長(zhǎng)、單元間隔分別為1 w =0.45 mm、1 g =0.05 mm及2 w =0.90 mm、2 g =0.10 mm,如圖4(a)所示。在FDTD仿真軟件中將頂層Au和玻璃基底構(gòu)成的方形頻率選擇表面分為四個(gè)區(qū)域(A1~A4),如圖4(b)所示。

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圖4 大尺寸Au頻率選擇表面三維結(jié)構(gòu)示意圖

將光源設(shè)置在距離頂層一個(gè)波長(zhǎng)的位置,反射監(jiān)視器介于光源與FDTD之間,仿真得到各區(qū)域的紅外反射光譜如下圖5(a)所示。

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圖5 紅外反射光譜的仿真結(jié)果

實(shí)驗(yàn)與驗(yàn)證

紅外頻率選擇表面制備與表征

為驗(yàn)證理論模型的計(jì)算結(jié)果,采用磁控濺射設(shè)備(FJL500)制備了AFSS樣品。以石英玻璃(SiO?)作為襯底(厚度1 mm),將其分別在丙酮、乙醇、去離子水中超聲清洗15 min,清洗過(guò)程有利于去除吸附的雜質(zhì)。采用聚酰亞胺膠帶將不銹鋼掩膜版固定在潔凈玻璃襯底中心,隨后移置于正對(duì)Au靶上方的樣品臺(tái)中央,打開(kāi)功率源將真空腔室預(yù)抽真空至1×10?? Pa。采用偏光顯微鏡(Axioskop40)拍攝得到AFSS1、AFSS2的光學(xué)圖片,分別如圖6(c)和(d)所示。

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圖6 兩種頻率選擇表面的紅外光譜的仿真與測(cè)試結(jié)果

紅外光譜響應(yīng)分析

為研究頻率選擇表面紅外輻射抑制性能,本文使用FTIR(Spectrum-100)表征了AFSS1、AFSS2的紅外反射率光譜(2~16 μm),從圖6(a)~(b)可以看出,F(xiàn)DTD 模擬的紅外反射光譜在8~10 μm內(nèi)具有“針尖”反射峰在實(shí)測(cè)紅外反射光譜8.5~11 μm范圍內(nèi)同樣出現(xiàn)了該現(xiàn)象。與仿真結(jié)果相比,實(shí)測(cè)得到的紅外反射光譜向長(zhǎng)波方向輕微紅移,反射曲線向上移動(dòng)。表1比較了本文設(shè)計(jì)的頻率選擇表面結(jié)構(gòu)與部分文獻(xiàn)報(bào)道的紅外輻射性能。

表1 相關(guān)紅外頻率選擇表面結(jié)構(gòu)的性能對(duì)比

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結(jié)論

本文提出的計(jì)算模型可實(shí)現(xiàn)毫米級(jí)頻率選擇表面的紅外發(fā)射光譜響應(yīng)。此外,基于上述模型制備了一種寬帶低發(fā)射率輻射抑制頻率選擇表面,利用高填充率方形陣列和高電導(dǎo)率材料Au的導(dǎo)帶自由價(jià)電子躍遷進(jìn)行熱輻射抑制調(diào)控。結(jié)果表明:所制備樣品AFSS1、AFSS2在2~16 μm內(nèi)平均紅外發(fā)射率分別為0.152和0.174,即在相同占空比下,單元邊長(zhǎng)小、排列緊密的陣列具有較優(yōu)的紅外輻射抑制特性。本文測(cè)試結(jié)果與仿真結(jié)果吻合較好,設(shè)計(jì)的毫米級(jí)Au頻率選擇表面計(jì)算模型在寬頻帶低紅外輻射抑制領(lǐng)域具有較大可行性,為定量與定性兩個(gè)維度共同設(shè)計(jì)能量轉(zhuǎn)換、熱管理器件提供了一種新的思路。







審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:基于毫米級(jí)Au紅外輻射抑制頻率選擇表面的設(shè)計(jì)與制備

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