據傳感器專家網獲悉，據日本日刊工業(yè)新聞11月25日報道，日本住友精密工業(yè)將正式進入微小電氣機械系統(tǒng)（MEMS）的代工（Foundry）業(yè)務領域。

據新聞介紹，住友精密工業(yè)接收了此前與美國企業(yè)共同運營的合資公司相關業(yè)務。通過整合MEMS設備及制造技術的專業(yè)知識，以及母公司住友商事的銷售網絡等資源，公司計劃切入預計增長迅速的MEMS市場，目標瞄準汽車高性能傳感器（LiDAR）及高性能揚聲器等領域，到2030年實現(xiàn)超過100億日元的營業(yè)收入。

早在1999年，住友精密工業(yè)通過與美國科林斯航空系統(tǒng)公司（Collins Aerospace）的合資企業(yè)“英國硅感系統(tǒng)公司”（Silicon Sensing Systems），從事陀螺儀和加速度傳感器等MEMS設備的生產與銷售，同時也涉足MEMS代工業(yè)務。

Silicon Sensing Systems Ltd 是位于英國英格蘭西南部普利茅斯，Collins Aerospace 在陀螺儀和慣性傳感器方面的傳統(tǒng)可以追溯到 Sperry Gyroscope Company，該公司成立于 1913 年，這使得企業(yè)在復雜慣性系統(tǒng)及其在實際應用中的部署領域擁有深厚的專業(yè)知識。住友精密工業(yè)總部位于日本尼崎，在硅 MEMS 制造領域擁有獨特的專業(yè)知識。經過 20 年的成功合作，Silicon Sensing Systems 已成為全球市場上備受推崇的可靠優(yōu)質產品供應商。

此次，公司將代工業(yè)務獨立出來，并移交至住友精密工業(yè)。

2023年12月，公司成立了“MEMS Infinity部門”，專注于承接新業(yè)務，而合資公司時期的訂單則將繼續(xù)由該部門承接。

MEMS Infinity是一家150毫米和200毫米MEMS晶圓代工廠，通過原型設計和大規(guī)模生產，滿足客戶對MEMS概念設計和評估的不斷增長的需求。

MEMS Infinity位于日本尼崎市（Amagasaki）的工業(yè)和技術中心，擁有一個20,000平方英尺的潔凈室，可以制造多種MEMS器件，包括靜電式和電磁式傳感器和執(zhí)行器。MEMS Infinity也是該行業(yè)為數(shù)不多的提供PZT薄膜組合的MEMS代工廠之一。PZT薄膜是一種可將電能轉換為機械能的壓電材料，反之亦然。PZT薄膜非常適合用于高性能執(zhí)行器、微機械超聲換能器（MUT）和聲學傳感器等新興技術。

epi-PZT晶圓 為擴大MEMS代工業(yè)務，公司將充分利用在MEMS設備設計、生產技術開發(fā)、制造和市場營銷等方面的經驗優(yōu)勢。住友精密工業(yè)的全資子公司SPP Technologies（總部位于東京都千代田區(qū)）專注于MEMS制造設備如硅深刻蝕裝置的開發(fā)，這使公司在設備利用方面具有明顯優(yōu)勢。

量產的MEMS設備將委托英國硅感系統(tǒng)公司生產，同時住友精密工業(yè)計劃逐步提升自身的生產能力。到2030年，公司預計投入數(shù)十億日元，將產能擴充至現(xiàn)有水平的數(shù)倍，同時將員工人數(shù)從現(xiàn)有的約20人增加到100人以上。

公司高管表示，“同時擁有MEMS設備和設備制造技術的代工廠在行業(yè)中非常少見。”MEMS設備由于其小型化、高功能化及節(jié)能特性，市場需求預計將持續(xù)增長。

來源：上海交通大學電子信息與電氣工程學院