解開半導(dǎo)體晶圓廠高架地板的面紗-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

晶圓廠高架地板，又稱為活動地板或防靜電地板，是一種特殊設(shè)計的地板系統(tǒng)，主要用于高科技制造環(huán)境，如半導(dǎo)體晶圓廠。高架地板也叫做耗散型靜電地板，高架地板主要是以可調(diào)支架、橫梁、面板等組合拼裝而成的。高架地板的材料通常具有防靜電特性，以保護(hù)敏感的半導(dǎo)體制造設(shè)備和微電子元件。晶圓廠的高架地板一般由聚氯乙烯（PVC）材料制成，并添加了防靜電劑。它們具有良好的防靜電性能、耐磨性和耐腐蝕性，適用于需要高度潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。

高駕地板概述？

高架地板又叫做耗散型靜電地板。當(dāng)它接地或連接到任何較低電位點時，使電荷能夠耗散，以電阻在10的5次方到10的9次方歐姆之間為特征。

由于種種原因而產(chǎn)生的靜電，是發(fā)生最頻繁，最難消除的危害之一。靜電不僅會對計算機(jī)運行出現(xiàn)隨機(jī)故障，誤動作或運算錯誤，而且還會導(dǎo)致某些元器件，如CMOS、MOS電路，雙級性電路等的擊穿和毀壞。此外靜電對計算機(jī)的外部設(shè)備也有明顯的影響。帶陰極射線管的顯示設(shè)備，當(dāng)受到靜電干擾時，會引起圖像紊亂，模糊不請。靜電還將造成Modem、網(wǎng)卡、Fax等工作失常，打印機(jī)的走線不順等故障。

此外，靜電通過人體對精密設(shè)備放電時(即所謂的打火)當(dāng)能量達(dá)到一定程度，也會給人以觸電的感覺。

高架電地板一般根據(jù)基材和貼面材料不同來劃分?；挠袖摶?、鋁基、復(fù)合基、刨花板基（木基）、硫酸鈣基等。貼面材料有防靜電瓷磚、三聚氰胺（HPL）、PVC等。另外還有防靜電塑料地板、防靜電網(wǎng)絡(luò)地板等。高架地板主要是以可調(diào)支架、橫梁、面板等組合拼裝而成的。支架、橫梁、面板的技術(shù)性能應(yīng)符合設(shè)計要求和國家現(xiàn)行規(guī)范規(guī)定。

架空防靜電地板是用支架、橫梁、面板組裝。水平地板和面板之間就有一定的懸空空間。就可以用來下走線及送風(fēng)等在半導(dǎo)體廠是相當(dāng)實用的。由于其良好的綜合性能、因此在市場上也非常受到歡迎。

高架地板的作用？電纜和管線管理：高架地板為晶圓廠內(nèi)的電纜和管線提供了方便的管理方式。電纜、冷卻管線、氣體管道和其他設(shè)施都可以方便地安置在地板下，這樣有助于維持生產(chǎn)區(qū)域的整潔和安全。

防靜電：晶圓廠中的靜電可能會對微電子設(shè)備造成損害。高架地板的表面通常由防靜電材料制成，有助于消除靜電，保護(hù)敏感設(shè)備免受損害?？諝饬魍ê涂諝赓|(zhì)量控制：晶圓廠需要維持極高的空氣質(zhì)量，以防止微小顆粒對產(chǎn)品造成污染。高架地板有助于空氣在室內(nèi)自由流動，并能與潔凈室的空氣過濾系統(tǒng)配合，有效地去除顆粒污染。振動控制：微電子制造過程對振動非常敏感，微小的振動都可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷。高架地板可以幫助分散和吸收振動，提供穩(wěn)定的生產(chǎn)環(huán)境。高架地板的結(jié)構(gòu)？
穿孔面板：地板板塊的大小和形狀可以根據(jù)實際需求進(jìn)行定制。晶圓廠穿孔面板是一種特殊類型的高架地板板塊，它在地板表面上設(shè)計有一定數(shù)量的小孔。穿孔面板為關(guān)鍵應(yīng)用提供卓越的冷卻和通風(fēng)。特別是在需要精確控制空氣質(zhì)量和環(huán)境條件的潔凈室中十分需要穿孔面板。

支撐柱：這是一個垂直的、可調(diào)節(jié)的柱子，支撐上面提到的地板面板。面板用螺絲固定在每個角的鋼柱上（每個面板 4 個柱子）。如果需要，柱子通常使用環(huán)氧樹脂基粘合劑和機(jī)械固定件粘合到底層地板上。支撐柱是高架地板的基礎(chǔ)，通常由金屬制成，如鋼或鋁。它們將地板板塊支撐在一定高度，形成一個空間，用于容納電纜、管線等設(shè)施。立柱的高度取決于架空地板下要存放的電纜和其他服務(wù)的體積；典型高度介于 610 毫米和 1219 毫米之間。為了滿足低矮系統(tǒng)的工業(yè)需求，有些芯片廠已嘗試將活動地板的高度降低到 4 英寸（100毫米）。

橫梁：橫梁連接支撐柱，增強(qiáng)地板的穩(wěn)定性和承重能力。它們以一定的間距穿過地板，形成一個穩(wěn)定的框架結(jié)構(gòu)。

防靜電接地系統(tǒng)：為了確保防靜電地板的有效性，需要將其連接到一個接地系統(tǒng)。接地系統(tǒng)可以將地板上產(chǎn)生的靜電有效地排放到地面，防止靜電對敏感設(shè)備和元器件造成損害。其他可選擇安裝的部件：當(dāng)?shù)匕迳叩阶阋宰屓伺佬猩踔敛叫写┻^時，通常需要額外的結(jié)構(gòu)支撐、照明、滅火系統(tǒng)和電纜橋架系統(tǒng)等。

高價地板的性能特點？

1、全鋼組成，機(jī)械強(qiáng)度高、承載能力強(qiáng)、耐沖擊性能好；

2、表面靜電噴塑，柔光、耐磨、防水、防火、防塵、防腐蝕；

3、粘貼的裝飾高壓層板，耐磨性及防靜電性能優(yōu)良、抗污染、便于清洗、裝飾性強(qiáng)；

4、尺寸精度高、互換性好、組裝靈活、維修方便、使用壽命長；

5、地板可任意切割，安裝附件方便；

6、四邊固定，安裝方便；

7、下部空間可作為空調(diào)通風(fēng)用，也可配合通風(fēng)板調(diào)節(jié)底層通風(fēng)量；

8、對超重設(shè)備而言，只要在地板下增加支架，即能解決承載問題；

9、拆裝方便，只要更換裝飾貼面，就能重復(fù)使用；

10、安裝地插座時可根據(jù)地插座的規(guī)格進(jìn)行開孔。適用范圍：全鋼地板適用在載重要求和防靜電要求較高的場合。

高架地板的技術(shù)指標(biāo)？

電性能： 系統(tǒng)電阻10的6次方— 10的9次方歐姆靜電起電電壓 < 50伏

半衰時間 < 0.5

機(jī)械性能：均布載荷kg > 1600

極限集中載荷kg> 1000

撓度mm < 2

耐老化性：使用壽命60年以上

標(biāo)準(zhǔn)地板：600×600×30mm

防火性能：國家A級防火材料

耐磨性：0.1g/1000轉(zhuǎn)

高架地板的環(huán)境要求？

溫度10-30℃、相對濕度RH30-70%、

溫度變化率ΔT≤15℃/小時

震動：無經(jīng)常的震動（源）

化學(xué)環(huán)境：無高腐蝕揮發(fā)物質(zhì)

高架地板的施工工藝？

1 把要安裝高架地板的場地地面清理干凈，要求地面平整干燥。應(yīng)是已經(jīng)做好水泥沙漿找平的地面，高低差用2米水平尺測量小于4毫米

2、 在清潔好的地面彈線定位，目的確定好每個支架位置。

3 在定點位置安裝支架，安裝邊框并且調(diào)整好整個支架的高度。

4 支架橫梁裝配，同時調(diào)整橫梁水平，建議用激光水平儀，然后擰緊螺釘，固定好橫梁。

5 安裝活動地板，同時對活動地板修邊。

6 在地板安裝完后進(jìn)行踢腳線安裝，保護(hù)及美化墻邊。

7、 施工完畢后清理地板表面。

高架地板的維護(hù)？

為了確保地板的性能和耐用性，需要定期進(jìn)行維護(hù)和檢查。定期清潔地板表面，以去除灰塵、污漬和其他雜質(zhì)。使用適當(dāng)?shù)那鍧崉┖驮O(shè)備，如微纖維拖把或防靜電掃帚，以防止對地板造成損壞。避免使用過量的水或強(qiáng)烈的化學(xué)清潔劑，因為它們可能損壞地板材料或?qū)е路漓o電性能降低。

遵守地板制造商指定的承重能力，避免在地板上放置過重的設(shè)備或物品。超載可能導(dǎo)致地板變形、損壞或失效。定期檢查防靜電接地系統(tǒng)，確保其有效性和穩(wěn)定性。使用專業(yè)的測試儀器檢查地板的防靜電性能，并確保接地系統(tǒng)連接正常，以防止靜電對敏感設(shè)備和元器件造成損害。

如果需要對地板下的設(shè)施進(jìn)行維修或更改，則需要特殊工具和有經(jīng)驗的工人進(jìn)行操作。一般用地板拉動器、吸力起重器等連接到單獨的面板上，然后用力提起即可。