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SGS與復(fù)旦大學(xué)達(dá)成戰(zhàn)略合作 攜手打造半導(dǎo)體微環(huán)境實(shí)驗(yàn)室

全球TMT ? 來源:全球TMT ? 作者:全球TMT ? 2026-03-06 17:42 ? 次閱讀
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上海2026年3月6日 /美通社/ --2026年3月5日,SGS與復(fù)旦大學(xué)舉辦半導(dǎo)體微環(huán)境實(shí)驗(yàn)室戰(zhàn)略合作洽談會(huì),雙方圍繞實(shí)驗(yàn)室建設(shè)、關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)研制及科研成果轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)化深入交流并達(dá)成全面戰(zhàn)略合作共識(shí),將充分整合各自優(yōu)勢(shì),以復(fù)旦大學(xué)頂尖科研創(chuàng)新能力與 SGS 國際權(quán)威認(rèn)證、檢測(cè)技術(shù)能力深度融合為抓手,聚焦集成電路產(chǎn)業(yè)微環(huán)境關(guān)鍵技術(shù)瓶頸,協(xié)同開展前沿研究與標(biāo)準(zhǔn)創(chuàng)新,共同推動(dòng)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高端化、標(biāo)準(zhǔn)化、自主化高質(zhì)量發(fā)展。

SGS中國互聯(lián)與產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理趙暉、SGS中國高級(jí)總監(jiān)劉付芳、復(fù)旦大學(xué)全球合作促進(jìn)中心主任兼人類表型組研究院院長田梅教授、復(fù)旦大學(xué)全球合作促進(jìn)中心副主任、環(huán)境科學(xué)與工程系王麗娜研究員等雙方核心代表共同出席。

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SGS、復(fù)旦大學(xué)全球合作促進(jìn)中心、上海國際綠色低碳概念驗(yàn)證中心會(huì)議代表合影

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集成電路作為國家戰(zhàn)略性核心產(chǎn)業(yè),當(dāng)前正加速向2nm/3nm先進(jìn)制程邁進(jìn)。然而,半導(dǎo)體生產(chǎn)微環(huán)境控制中的氣態(tài)分子污染物(AMC)監(jiān)測(cè)溯源、超痕量檢測(cè)等關(guān)鍵技術(shù)仍存在明顯短板,成為制約產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的瓶頸。

復(fù)旦大學(xué)作為國內(nèi)頂尖綜合性研究型高校,在半導(dǎo)體微環(huán)境、環(huán)境檢測(cè)與治理領(lǐng)域擁有深厚科研積淀和鮮明學(xué)科優(yōu)勢(shì)。學(xué)校建有長三角規(guī)模領(lǐng)先的環(huán)境檢測(cè)分析實(shí)驗(yàn)室,配備頂尖儀器,構(gòu)建了多學(xué)科交叉協(xié)同科研體系,組建了高水平科研團(tuán)隊(duì),為半導(dǎo)體微環(huán)境技術(shù)攻關(guān)提供科研、人才與平臺(tái)支撐,推動(dòng)科研成果與產(chǎn)業(yè)需求精準(zhǔn)對(duì)接。

SGS作為國際公認(rèn)的測(cè)試、檢驗(yàn)和認(rèn)證機(jī)構(gòu),2020年,在長三角地區(qū)建立全國首個(gè)外資第三方半導(dǎo)體超痕量分析實(shí)驗(yàn)室。該實(shí)驗(yàn)室自建設(shè)以來,協(xié)助全國芯片企業(yè)加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈原物料的品質(zhì)把控,提升晶圓生產(chǎn)良率,減少缺陷,為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展提供全方位服務(wù)支持。實(shí)驗(yàn)室能檢測(cè)出ppt等級(jí)的痕量污染物,有效協(xié)助國內(nèi)半導(dǎo)體工藝從14納米提升至10納米甚至未來5納米的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

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審核編輯 黃宇

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