10月19日，來(lái)湘考察的中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“中微”)董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，此行將重點(diǎn)圍繞湖南集成電路設(shè)備和材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展出謀劃策，探討交流合作的前景和機(jī)遇。“湖南發(fā)展集成電路設(shè)備和材料產(chǎn)業(yè)有良好的基礎(chǔ)，我們?cè)讣訌?qiáng)合作，助推湖南在這一領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)跨越發(fā)展。我注意到，當(dāng)前國(guó)內(nèi)的芯片制造產(chǎn)業(yè)已經(jīng)出現(xiàn)了投資過(guò)度的勢(shì)頭。因此，湖南發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)，可以往半導(dǎo)體設(shè)備和材料的研制方向發(fā)展。”

尹志堯

十四年前毅然回國(guó)，造出“中國(guó)芯高端設(shè)備”

集成電路產(chǎn)業(yè)是數(shù)碼信息產(chǎn)業(yè)的基石，被列為《中國(guó)制造2025》重點(diǎn)聚焦發(fā)展的十大領(lǐng)域首位，對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和國(guó)家信息安全起著至關(guān)重要的作用。其中，半導(dǎo)體高端設(shè)備又是集成電路芯片產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。然而，長(zhǎng)期以來(lái)，集成電路設(shè)備和技術(shù)一直被國(guó)外大公司所壟斷。

1984年，獲得美國(guó)加州大學(xué)洛杉磯分校物理化學(xué)博士的尹志堯，前往美國(guó)硅谷工作，經(jīng)過(guò)20年的持續(xù)努力，成長(zhǎng)為幾代等離子體刻蝕技術(shù)及設(shè)備的主要發(fā)明人和推動(dòng)者，其領(lǐng)導(dǎo)和參與開發(fā)的刻蝕設(shè)備，幾乎占到了全世界的一半。

2004年，已年過(guò)六旬的尹志堯毅然帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)從美國(guó)回到中國(guó)，在上海浦東創(chuàng)建了中微公司。十四年來(lái)，他帶領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)開發(fā)出的幾種刻蝕機(jī)和化學(xué)薄膜設(shè)備，在性能和性價(jià)比上都進(jìn)入了國(guó)際前三強(qiáng)。

正是尹志堯所帶領(lǐng)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)突破核心技術(shù)壟斷，在中國(guó)土地上，第一次能夠生產(chǎn)出達(dá)到國(guó)際最先進(jìn)水平的高端集成電路設(shè)備。

拿出研發(fā)“兩彈一星”的信心和決心

所謂芯片，就是內(nèi)含集成電路的硅片，制造一塊小小的芯片，涉及50多個(gè)學(xué)科、上千道工序?！靶酒圃焓侨祟悮v史上最復(fù)雜的一項(xiàng)工藝，其難度堪比‘兩彈一星’。” 尹志堯打了個(gè)形象的比喻，人的頭發(fā)絲平均直徑是0.07毫米，7納米是人頭發(fā)絲的一萬(wàn)分之一，要是用這么細(xì)小的筆尖，就可以在一粒大米上，寫出一億個(gè)中文字。

“在這樣的尺度上加工是非常困難的，其中關(guān)鍵就是靠光刻機(jī)和等離子體刻蝕機(jī)?！币緢蛘f(shuō)，沒(méi)有微觀加工設(shè)備，就造不出芯片，而中微就是一家微觀加工高端設(shè)備公司。

如今，中微自主研發(fā)的等離子體、硅通孔等刻蝕設(shè)備，已在國(guó)際主要芯片制造和封測(cè)廠商的生產(chǎn)線上廣泛應(yīng)用，其研發(fā)的生產(chǎn)設(shè)備已與世界最前沿技術(shù)比肩。隨著產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，中微半導(dǎo)體也積極布局，加快發(fā)展步伐。

“我注意到，當(dāng)前國(guó)內(nèi)的芯片制造產(chǎn)業(yè)已經(jīng)出現(xiàn)了投資過(guò)度的勢(shì)頭。因此，湖南發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)，可以往半導(dǎo)體設(shè)備和材料的研制方向發(fā)展?！睘楹稀皬澋莱嚒敝д?，尹志堯建議在資金、人才和政策上加大扶持力度，拿出當(dāng)年研發(fā)“兩彈一星”的信心和決心，為相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造良好條件，同時(shí)他也表示，愿意深化與湖南相關(guān)方面的交流合作，攜手推動(dòng)湖南集成電路高端設(shè)備自主研發(fā)。