冬日寒氣襲人，學(xué)員熱情如火，共聚蘇州，樂享優(yōu)課！由麥姆斯咨詢主辦，上海傳感信息科技有限公司、華強(qiáng)電子網(wǎng)協(xié)辦的《聲學(xué)MEMS和傳感器培訓(xùn)課程》，于2018年12月13日至12月15日在蘇州工業(yè)園區(qū)納米城圓滿收官！

2018年聲學(xué)MEMS和傳感器培訓(xùn)課程學(xué)員合影留念

近年來隨著全球智能手機(jī)出貨量增長(zhǎng)以及智能語音市場(chǎng)火爆，MEMS麥克風(fēng)市場(chǎng)呈現(xiàn)井噴式增長(zhǎng)。此外，MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域各大廠商之間的專利“戰(zhàn)爭(zhēng)”連綿不斷。為此，麥姆斯咨詢特開設(shè)《聲學(xué)MEMS和傳感器培訓(xùn)課程》，旨在提升聲學(xué)MEMS和傳感器相關(guān)企業(yè)人員的基礎(chǔ)理論及實(shí)踐應(yīng)用水平，同時(shí)，也為非專業(yè)人員提供了解聲學(xué)MEMS技術(shù)的最佳學(xué)習(xí)機(jī)會(huì)，并從MEMS麥克風(fēng)角度帶領(lǐng)學(xué)員了解企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)利器——專利布局及侵權(quán)訴訟。本次課程詳細(xì)講解了MEMS麥克風(fēng)、微型揚(yáng)聲器和麥克風(fēng)陣列的聲學(xué)物理仿真分析，電容式MEMS麥克風(fēng)的設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試和專利的詳細(xì)分析，壓電式聲學(xué)MEMS器件——水聽器的工作原理以及MEMS麥克風(fēng)ASIC的設(shè)計(jì)、制造、案例分析等。同時(shí)，為了啟發(fā)學(xué)員結(jié)合典型MEMS器件制造工藝的思考和拓展，特意安排了蘇州MEMS中試平臺(tái)——6英寸MEMS制造產(chǎn)線的實(shí)地參觀，以期讓每位學(xué)員都能有所收獲！懷著對(duì)知識(shí)的渴望，對(duì)自我不斷提升的期許，來自中國(guó)大陸及***地區(qū)的眾多學(xué)員齊聚蘇州納米城，與各位知名講師共同完成為期三天的專業(yè)培訓(xùn)。

培訓(xùn)現(xiàn)場(chǎng)組圖：專注聽課的學(xué)員們

深耕產(chǎn)業(yè)、博文多識(shí)的講師團(tuán)隊(duì)，令人嘆服！12月13日上午，本次培訓(xùn)由來自Mentor Graphics MEMS及物聯(lián)網(wǎng)周邊器件負(fù)責(zé)人陳昇祐老師的講課拉開了序幕，憑借18年的半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)為大家講解聲學(xué)MEMS設(shè)計(jì)工具Tanner軟件及應(yīng)用。課程開始，陳昇祐老師即以電容式MEMS麥克風(fēng)為例，通過2D版圖到3D模型的操作引出Tanner軟件的設(shè)計(jì)全流程，突出講解了L-Edit MEMS的特點(diǎn)以及如何應(yīng)用L-Edit MEMS快速完成MEMS麥克風(fēng)設(shè)計(jì)等內(nèi)容。接著以可調(diào)濾波器（Tunable filter）為例，結(jié)合有限元分析工具向大家演示了機(jī)械-靜電耦合力的分析與仿真流程，以期幫助學(xué)員了解MEMS麥克風(fēng)中的靜電分析。陳昇祐老師氣質(zhì)儒雅，娓娓道來，受到了眾多學(xué)員的關(guān)注和喜愛，課程結(jié)束后紛紛向陳老師請(qǐng)教，陳老師不吝指教，對(duì)學(xué)員的問題耐心解答，甚至“線下一對(duì)一”輔導(dǎo)，令學(xué)員印象深刻。

Mentor Graphics MEMS及物聯(lián)網(wǎng)周邊器件負(fù)責(zé)人陳昇祐老師的授課風(fēng)采

12月13日下午，本次課程最受歡迎的COMSOL中國(guó)應(yīng)用工程師鐘振紅老師為大家?guī)砹寺晫W(xué)MEMS和傳感器有限元設(shè)計(jì)軟件COMSOL Multiphysics及其應(yīng)用的講解，該課程承襲了當(dāng)天上午課程中Mentor設(shè)計(jì)與建模，進(jìn)一步講解了電容式和壓電式MEMS麥克風(fēng)模型的有限元仿真。在簡(jiǎn)單介紹了COMSOL Multiphysics多物理場(chǎng)仿真平臺(tái)之后，鐘振紅老師從聲學(xué)MEMS的講解入手，層層剖析，多角度、多層次、多類型地向大家展示了各類物理場(chǎng)效應(yīng)。為了提升課程內(nèi)容的可操作性，此次課程還專門增加了軟件實(shí)操演練環(huán)節(jié)，力求讓每位學(xué)員都緊跟講師步伐，完成自己的仿真模型。操作過程中，鐘振紅老師一邊重點(diǎn)講解操作時(shí)注意事項(xiàng)，一邊關(guān)注學(xué)員動(dòng)態(tài)，盡量兼顧學(xué)員，并與學(xué)員頻繁互動(dòng)，鼓勵(lì)大家完成自己的仿真模型，成為MEMS器件仿真“高手”！鐘振紅老師詳盡透徹的講解屢屢讓學(xué)員茅塞頓開，每當(dāng)跟隨講師完整地完成一個(gè)仿真模型時(shí)，學(xué)員們都異乎尋常地興奮，同時(shí)鐘老師在操作過程中設(shè)置的故意犯錯(cuò)也增加了課程的趣味性。整場(chǎng)課程在輕松的氛圍中完成，學(xué)員們都顯得意猶未盡，紛紛抓緊課下時(shí)間再次與老師溝通交流。

COMSOL中國(guó)應(yīng)用工程師鐘振紅老師的授課風(fēng)采

12月14日上午，蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司總經(jīng)理李剛老師為大家講解了電容式MEMS麥克風(fēng)的設(shè)計(jì)及封測(cè)。作為集成微型硅麥克風(fēng)post-CMOS集成工藝的發(fā)明者以及敏芯微電子的創(chuàng)始人，李剛老師既有豐富的理論知識(shí)，又有一線的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，此次課程他從麥克風(fēng)的發(fā)展歷程入手，逐一介紹了幾類麥克風(fēng)的更新迭代（包括碳粒式、動(dòng)圈式、壓電式、靜電感應(yīng)的電容式或駐極體電容式），以圖表并茂的方式向大家展示了典型麥克風(fēng)之間的PK戰(zhàn)，優(yōu)缺點(diǎn)對(duì)比一目了然。其次李剛老師還結(jié)合自身經(jīng)歷及業(yè)界趣事，通過不同MEMS麥克風(fēng)主流廠商間的產(chǎn)品對(duì)比，深入講解了電容式MEMS麥克風(fēng)的工作原理、設(shè)計(jì)、封裝及測(cè)試。最后，李剛老師結(jié)合MEMS麥克風(fēng)典型應(yīng)用（如iPhone、智能音箱、耳機(jī)等）對(duì)整體課程進(jìn)行了梳理，通過啟發(fā)性思維的方式引領(lǐng)大家深入探索。李剛老師幽默風(fēng)趣、平易近人的講課風(fēng)格贏得了大批學(xué)員的稱贊，其內(nèi)容講解淺顯易懂，學(xué)員們都表示受益良多！

蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司總經(jīng)理李剛老師的授課風(fēng)采

12月14日下午，由蘇州MEMS中試平臺(tái)技術(shù)總監(jiān)馬清杰老師帶來的電容式MEMS麥克風(fēng)制造工藝講解獲得了學(xué)員們的一致好評(píng)。馬清杰老師從MEMS基礎(chǔ)知識(shí)出發(fā)，通過圖文并茂的方式，結(jié)合現(xiàn)代信息技術(shù)以及MEMS在全球應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)趨勢(shì)，逐步引出MEMS電容式麥克風(fēng)的優(yōu)勢(shì)，深度解析了電容式MEMS麥克風(fēng)制造工藝流程，尤其對(duì)刻蝕工藝的講解更是著墨不少，剖析了MEMS麥克風(fēng)制造工藝過程中遇到的挑戰(zhàn)及解決方案，憑借多年從事MEMS器件研發(fā)及MEMS整合工藝研發(fā)的一線經(jīng)驗(yàn)為學(xué)員在自身領(lǐng)域的發(fā)展提供了啟發(fā)與引導(dǎo)。馬清杰老師以其獨(dú)特的個(gè)人魅力贏得了全場(chǎng)學(xué)員的稱贊，學(xué)員們也趁此次難得的機(jī)會(huì)紛紛提問，下課后也不舍得放掉一分一秒的機(jī)會(huì)“圍攻”老師。馬清杰老師對(duì)學(xué)員們傾囊相授，結(jié)合自身MEMS器件研發(fā)及量產(chǎn)的經(jīng)驗(yàn)為學(xué)員提供建議，學(xué)員們都大呼過癮！

蘇州MEMS中試平臺(tái)技術(shù)總監(jiān)馬清杰老師的授課風(fēng)采

本次課程的最后一天（12月15日）上午，首先由新加坡微電子研究所（IME）前研究員徐景輝老師為大家講解了新興聲學(xué)傳感器技術(shù)——水聽器。在新加坡微電子研究所擁有8年的豐富經(jīng)驗(yàn)，多年從事基于壓電AlN（氮化鋁）平臺(tái)的聲學(xué)、振動(dòng)及加速度計(jì)等工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)傳感器系統(tǒng)研發(fā)的徐景輝老師，在國(guó)際和國(guó)內(nèi)重大科研項(xiàng)目中擁有超20篇的論文及多項(xiàng)專利。徐景輝老師此次課程由淺入深，先從水聽器的發(fā)展歷程著手，結(jié)合發(fā)展過程中的標(biāo)志性事件引起學(xué)員的興趣，通過圖片展示的方式，更形象地向大家闡述了不同時(shí)代的水聽器以及不同類型的水聽器的優(yōu)缺點(diǎn)的對(duì)比分析。同時(shí)徐景輝老師還與大家分享了MEMS水聽器的產(chǎn)業(yè)鏈分布、設(shè)計(jì)、封裝以及測(cè)試等，并舉例水聽器在實(shí)際應(yīng)用領(lǐng)域的工作原理，為奮戰(zhàn)在一線的員工提供了參考。

新加坡微電子研究所（IME）前研究員徐景輝老師的授課風(fēng)采

當(dāng)天上午第二節(jié)主題為《MEMS麥克風(fēng)ASIC設(shè)計(jì)及制造》的課程由蘇州芯儀微電子科技有限公司總經(jīng)理朱瀟挺老師講授。朱瀟挺老師從傳感器ASIC設(shè)計(jì)原理出發(fā)，佐以公式和圖表，詳細(xì)闡述了電容式MEMS麥克風(fēng)ASIC設(shè)計(jì)中需要重點(diǎn)關(guān)注的參數(shù)（如靈敏度、信噪比、總諧波失真、輸出阻抗等）。課程講解中結(jié)合MEMS麥克風(fēng)典型應(yīng)用及發(fā)展趨勢(shì)，探討了智能MEMS麥克風(fēng)的實(shí)現(xiàn)。朱瀟挺老師資料準(zhǔn)備充分、課程講解細(xì)致、概念剖析精準(zhǔn)，令學(xué)員們收獲頗豐。

蘇州芯儀微電子科技有限公司總經(jīng)理朱瀟挺老師的授課風(fēng)采

12月15日下午，迎來了本次培訓(xùn)的最后一節(jié)課——《MEMS麥克風(fēng)專利分析》，由智慧芽信息科技（蘇州）有限公司知識(shí)產(chǎn)權(quán)（專利）咨詢顧問張永強(qiáng)老師為大家講授。在半導(dǎo)體和MEMS技術(shù)領(lǐng)域和知識(shí)產(chǎn)權(quán)領(lǐng)域有著豐富的理論和實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)的張永強(qiáng)老師，從最新的中興、蘋果與高通專利侵權(quán)案件出發(fā)，引出如今專利侵權(quán)訴訟已成為高新技術(shù)企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的一種常用手段。張永強(qiáng)老師通過分析MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域的宏觀、中觀和微觀的專利信息情報(bào)在技術(shù)開發(fā)過程中的實(shí)際運(yùn)用，佐以具體案例，結(jié)合近年來MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域的專利訴訟案件，向大家具體介紹了專利侵權(quán)的判定方法與流程。最后穿插小米、愛立信等公司的專利訴訟案件，為大家提供了專利侵權(quán)規(guī)避的方法和技巧。張永強(qiáng)老師授課重點(diǎn)突出，趣味性與實(shí)用性并行，將原本晦澀的知識(shí)講解地通俗易懂，學(xué)員們都表示獲益匪淺！

智慧芽信息科技（蘇州）有限公司知識(shí)產(chǎn)權(quán)（專利）咨詢顧問張永強(qiáng)老師的授課風(fēng)采

深入MEMS制造產(chǎn)線，結(jié)合應(yīng)用實(shí)踐，啟發(fā)思考！此次培訓(xùn)課程中，麥姆斯咨詢依循傳統(tǒng)，精心安排學(xué)員進(jìn)入蘇州MEMS中試平臺(tái)的6英寸MEMS制造產(chǎn)線參觀，該產(chǎn)線是國(guó)內(nèi)首條專注于MEMS專業(yè)研發(fā)與代工的中試平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)以生產(chǎn)代工為核心，以此為基礎(chǔ)拓展包括工藝研發(fā)、無塵室租賃、人才培訓(xùn)等一系列服務(wù)。此次參觀由蘇州MEMS中試平臺(tái)技術(shù)總監(jiān)馬清杰老師帶隊(duì)，為大家詳細(xì)介紹了該條產(chǎn)線的工藝能力、生產(chǎn)制造、檢測(cè)檢驗(yàn)?zāi)芰Α⒎?wù)模式等方面的內(nèi)容，并熱情地帶領(lǐng)學(xué)員在參觀走廊中實(shí)地了解產(chǎn)線。在整個(gè)參觀過程中，學(xué)員近距離觀察并了解MEMS制造實(shí)況，與馬老師詳細(xì)交流了實(shí)踐中遇到的問題，從學(xué)習(xí)和業(yè)務(wù)等多角度都頗有收獲。

馬清杰老師帶領(lǐng)學(xué)員參觀學(xué)習(xí)蘇州MEMS中試平臺(tái)的MEMS制造產(chǎn)線

勤學(xué)好問、全神貫注的學(xué)員，引人稱贊！整個(gè)培訓(xùn)期間，學(xué)員的虛心請(qǐng)教、認(rèn)真筆記、踴躍提問都感動(dòng)著麥姆斯咨詢的每一位工作人員，學(xué)員與講師間的交流，學(xué)員與學(xué)員間的討論也讓在一旁的工作人員心生稱贊。雖然培訓(xùn)教室外寒風(fēng)蕭瑟?jiǎng)C冽，但我們的培訓(xùn)課堂內(nèi)卻是學(xué)習(xí)熱情如火。

學(xué)員提問環(huán)節(jié)，互動(dòng)交流

學(xué)員認(rèn)真的筆記