激光干涉儀是線性位移測量儀器中精度最高的，其以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、最高測速下分辨率高等特點，光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。
隨著精密測量的性能需求愈來愈高，激光干涉測量技術在精度、分辨率、測量速度等方面的性能不斷進步。中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000便攜式激光干涉儀是實現(xiàn)大量程納米測量的重要方法，具有大量程、納米級分辨率、波長溯源等典型優(yōu)點，廣泛應用于航天器微振動的地面測試、雷達目標識別、精密機械制造、材料探傷等領域。
產(chǎn)品參數(shù)
技術指標
SJ6000便攜式激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
功能特點
1）測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
2）SJ6000激光干涉儀具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
3）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。
4）具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等。
5）內(nèi)置各種類國標（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準。可依據(jù)各種機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結果可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
6）可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)?？蛇x擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。
7）測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。
8）安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。
SJ6000便攜式激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>
產(chǎn)品配置與證書
