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MEMS慣性傳感器作為工業(yè)應用領用新興的應用元件，不論在商業(yè)、工業(yè)還是軍工應用上都有著廣闊的應用。文中給出了幾種MEMS的在不同領域內的應用范例，并解析了相應的原理，并從一款較常用的MEMS入手提出了對相應領域內的解決思路。
MEMS是微機電系統（Mic ro-Electro-Mechanical SVstems）的英文縮寫。它是隨著半導體集成電路微細加T技術和超精密機械加T技術的發(fā)展而發(fā)展起來的，日前MEMS加T技術在傳感器制作領域有很多應用．MEMS慣性傳感器是一個不錯的產品。從最初MEMS線性加速度傳感器徹底革新了汽車安全氣囊系統開始，從筆記本電腦硬盤保護到航天控制器中更為直觀的運動捕捉，各種獨特的功能和應用得以實現。
來自MEMS慣性傳感器的信息經過處理和積分后，可以提供許多不同類型的位置、方向和運動的輸出（見圖1）。每種類型的運動都涉及到一系列應用相關的復雜兇素，對此必須加以了解。
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