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關(guān)于臺積電兩大獨(dú)門武器的性能分析和應(yīng)用介紹

lC49_半導(dǎo)體 ? 來源:djl ? 2019-08-29 08:56 ? 次閱讀
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當(dāng)全球各大制造強(qiáng)權(quán)都在積極搶進(jìn)先進(jìn)制造,但你知道嗎,一家「地表最接近工業(yè)4.0的企業(yè)」就在你我身邊。

它是臺積電,公認(rèn)在生產(chǎn)技術(shù)最先進(jìn)和復(fù)雜的晶圓制造行業(yè)。自從2018年量產(chǎn)七納米制程后,臺積電已成為全球半導(dǎo)體制造技術(shù)少數(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者。其中的關(guān)鍵,正是什少對外公開談?wù)摰南冗M(jìn)制造能力。

為了讓***制造業(yè)理解智能化的威力,更要為產(chǎn)業(yè)帶來數(shù)位轉(zhuǎn)型動能,《天下》獨(dú)家走訪臺積電,一窺全球?qū)I(yè)晶圓代工霸主的制造智能化之路。

首次公布「智造」秘辛,

19年前,就已達(dá)全自動等級

「從成立第一天我們就在談制造卓越,這是我們要突顯的價值,」臺積電晶圓廠營運(yùn)資深副總經(jīng)理王建光說。

王建光在臺積電是掌管所有晶圓廠制造的「總廠長」角色,也是智能化生產(chǎn)的最高主管。首次對媒體分享臺積電「智造」奧義,講起話來溫文儒雅的他,不僅顛覆一般生產(chǎn)線主管常見的疾言厲色印象,也很有資格話說從頭。

首度接受媒體專訪的臺積電晶圓廠營運(yùn)資深副總經(jīng)理王建光,是臺積電智能制造的靈魂人物。(邱劍英攝)

員工編號30號的王建光,在臺積電成立之初就加入,一路參與臺積電對制造卓越的追求。他細(xì)數(shù),自90年代,八吋晶圓廠導(dǎo)入電腦化,臺積電就開始在制造管理上建立門檻。

到了2000年開始自動化,當(dāng)年建立全新的十二吋超大晶圓廠,自動化程度已是全球同業(yè)先驅(qū),包括派工、運(yùn)送系統(tǒng)到設(shè)備自動化,都已是全自動化的等級。

時至今日更不得了,晶圓廠的工作環(huán)境早已顛覆外界認(rèn)知。走一趟臺積電位于中科的十二吋晶圓廠,來到一間名為MCC(生產(chǎn)指揮中心)的辦公室,免更換無塵衣,也不用經(jīng)過空氣浴塵室,穿著輕松的工程師或技術(shù)員,成排坐在辦公桌前專注盯著電腦螢?zāi)簧系臄?shù)值,前方大片落地窗外,還可一覽藍(lán)天白云下的大肚山景致。

臺積電已顛覆外界對晶圓制造的印象,工程師和技術(shù)員只要在生產(chǎn)指揮中心,就能夠讓制造過程智能地運(yùn)行。(臺積電提供)

年前率先智能化,

AI、機(jī)器學(xué)習(xí)導(dǎo)入晶圓制造

直到今天,臺積電自動化程度仍在精進(jìn)。「每一批貨,都知道它下一站要去哪里;每一個機(jī)臺,都知道下一批貨要來的是什么。整個流程運(yùn)作順暢以外,重點是必須緊湊,」王建光描述。

他舉例,多數(shù)人去做健康檢查時,花最多時間是每一站之間的等待,這很不符合效率。他解釋,晶圓制程主要有三種狀態(tài),分別是等待(Queue time)、暫停(Hold time),和運(yùn)行(Run time),雖然這幾年已把前兩者縮到極小化,但他用堅定口吻強(qiáng)調(diào),往更極致努力將永不停止。

隨著全自動化的精進(jìn),智能化登場。2011年,臺積電揭開智能化晶圓廠的序幕,陸續(xù)導(dǎo)入大數(shù)據(jù)分析、機(jī)器學(xué)習(xí)、人工智能等技術(shù)。

王建光解釋,半導(dǎo)體制程是一門高度復(fù)雜的工藝,有上千個制程步驟,每道制程都必須精準(zhǔn)控制,每個工廠都有數(shù)千臺機(jī)臺,每個機(jī)臺一天可收集數(shù)百萬到數(shù)千萬筆數(shù)據(jù)。

他說,這些資料是晶圓制造過程中的所有細(xì)節(jié),一定得充分收集、掌握,才有機(jī)會優(yōu)化制程參數(shù),成為提升良率的基礎(chǔ)。

清華大學(xué)工業(yè)工程與工程管理學(xué)系講座教授簡禎富也指出,臺積電的每一片晶圓都有百萬個感測點的數(shù)據(jù)、每座晶圓廠都有成千上萬臺機(jī)臺設(shè)備,但對應(yīng)的制程工程師,卻可能只有不到一千位,要分析如此海量的資料,已遠(yuǎn)超人力所及。

簡禎富接著說,一般商用統(tǒng)計軟體,雖然已經(jīng)可以支援大數(shù)據(jù)分析,但是每個行業(yè)都有各自的專業(yè)需求和特性,因此,像臺積電這種產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)頭羊,就會發(fā)展符合自己所需的分析工具。

這時,臺積電的1000位IT,以及300位AI、機(jī)器學(xué)習(xí)工程師登場。王建光透露,過去幾年來,臺積電已經(jīng)開發(fā)出智能診斷引擎、先進(jìn)數(shù)據(jù)分析等平臺,進(jìn)而發(fā)展出一套獨(dú)門的制程精確控制系統(tǒng)。

這套將大數(shù)據(jù)與機(jī)器學(xué)習(xí)應(yīng)用在晶圓制程的學(xué)問,堪稱臺積電近年持續(xù)拉開全球競爭者距離的究極奧義。

獨(dú)門一:降低生產(chǎn)周期,交期所向無敵,代工廠最強(qiáng)

它到底有多厲害?前董事長張忠謀口中在這行業(yè)很重要的數(shù)字── 生產(chǎn)周期(cycle time),就能因此降低。

要理解「生產(chǎn)周期」,得先對芯片制程有大致的概念。簡單來說,臺積電的工作,就是把客戶(IC設(shè)計公司)委托的電路圖做進(jìn)一顆指甲一樣大小的芯片里,因此,除了電路線寬已做到細(xì)如頭發(fā)直徑的萬分之一,還得像建造高樓般,一層一層反覆進(jìn)行曝光、顯影、植入離子、蝕刻等制程,才有辦法將超過十億個電晶體的電路圖「塞」在一顆芯片內(nèi)。而生產(chǎn)周期,就是建造每一層(layer)的時間。

隨著消費(fèi)性電子迭代益趨緊湊,一家IC設(shè)計公司的高階主管直言,相較良率、價格,「交期,是我們現(xiàn)在最看重的,而臺積電確實是所有代工廠最強(qiáng)的?!?/p>

臺積電的交期所向披靡,關(guān)鍵之一就是生產(chǎn)周期競爭力。王建光透露,從臺積電推動智能制造并應(yīng)用大數(shù)據(jù)和機(jī)器學(xué)習(xí)后,生產(chǎn)周期精進(jìn),至今最少進(jìn)步50%。

因為從同業(yè)到客戶都想要對此一窺堂奧,也讓王建光對各制程的詳細(xì)數(shù)字與細(xì)節(jié),更加三緘其口。但早在2017年,臺積電的***技術(shù)論壇上,時任臺積電共同執(zhí)行長魏哲家在主題演講時就提及,把大數(shù)據(jù)、機(jī)器學(xué)習(xí)等技術(shù)應(yīng)用在制程管理上,「都是為了降低我們的生產(chǎn)周期?!?/p>

當(dāng)時,魏哲家透露,在約15年前的180納米時代,一顆芯片內(nèi)部約25層,生產(chǎn)一層約花兩天。而現(xiàn)在,以十納米手機(jī)芯片為例,內(nèi)部已達(dá)80層,如果一層生產(chǎn)周期還是兩天,代表一個產(chǎn)品要將近半年才做得出來,「沒有人肯等你的,」魏哲家說。

臺積電董事長劉德音(左)與副董事長暨總裁魏哲家(右)接班后,仍持續(xù)加大智能制造力度。(劉國泰攝)

獨(dú)門二:工廠一致性,不但可精確制造,還能優(yōu)化

走入智能晶圓廠時代的臺積電,還有另一項獨(dú)門絕活不能不提,那就是「工廠一致性」(fab matching)。

簡禎富在新書《工業(yè)3.5》提到,透過機(jī)臺參數(shù)與感測器的數(shù)據(jù)分析,除了可以即時推測每一個加工產(chǎn)品的好壞,設(shè)備也具有自我檢測、制程參數(shù)智能調(diào)校、自動復(fù)原與改善控制等能力,并借著不斷診斷、不斷反饋、不斷學(xué)習(xí)進(jìn)化的「動態(tài)優(yōu)化滾動」,變得愈來愈智能。

更厲害的是,過程中能確保沒有人「掉隊」。

一顆新芯片要量產(chǎn),通常會先經(jīng)研發(fā)試產(chǎn),待制程參數(shù)等諸多生產(chǎn)因子調(diào)到最佳化后,才外放到各晶圓廠大量生產(chǎn)。王建光透露,目前在全球擁有13座晶圓廠的臺積電,也多半由母廠負(fù)責(zé)試產(chǎn)穩(wěn)定后,再到各廠投片量產(chǎn)。

芯片制造者來說,很大的考驗就是如何把試產(chǎn)時的表現(xiàn),精準(zhǔn)移植到量產(chǎn)。過往最知名的就是英特爾的「精確復(fù)制」(Copy Exactly)模式,亦即英特爾在全球每座晶圓廠的每條生產(chǎn)線,不僅都采用相同的生產(chǎn)設(shè)備,連廠內(nèi)管路配置、尺寸、長度,甚至幾個彎角都要一模一樣,以此確保從研發(fā)產(chǎn)線到量產(chǎn)能表現(xiàn)一致外,也可預(yù)防同樣的問題重覆發(fā)生。

王建光說,在臺積電,不斷優(yōu)化是家常便飯。光這項能力,就讓臺積電建立一道同業(yè)難以跨越的成本門檻。(邱劍英攝)

類似模式在臺積電稱為工廠一致性,卻因為導(dǎo)入智能化而多了同業(yè)難以仿效的彈性。

王建光解釋,工廠一致性不僅讓同樣的制程,移轉(zhuǎn)到各廠仍百分之百相同,若生產(chǎn)過程中滾動出更好的制程參數(shù)、更好的良率表現(xiàn),甚至后來導(dǎo)入更有成本效益的機(jī)臺時,其他廠也會跟著對準(zhǔn)(alignment)。

「一般進(jìn)入量產(chǎn)后就不敢再動了,」王建光笑道,但在臺積電,不斷優(yōu)化卻是家常便飯。他沒說出口的是,光這項能力,就讓臺積電建立一道同業(yè)難以跨越的成本門檻。

秉持制造卓越的初心,一路成就全球制造業(yè)典范的臺積電,接下來還能演繹多強(qiáng)大的「智造」本事,全世界都在看。

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