（文章來(lái)源：中關(guān)村在線）

我們都知道，芯片領(lǐng)域光刻機(jī)和OLED面板領(lǐng)域的蒸鍍機(jī)一直是中國(guó)的痛，因?yàn)榭v觀中國(guó)的半導(dǎo)體領(lǐng)域，從設(shè)備生產(chǎn)商到晶圓代工廠商，與西方主流水準(zhǔn)差距都不會(huì)很大，甚至像中微的蝕刻機(jī)達(dá)到了全球一流水準(zhǔn)。但是光刻機(jī)中國(guó)目前才突破90nm，差距非常大，而蒸鍍機(jī)則還是0，直到合肥萊德成功量產(chǎn)蒸鍍機(jī)。

還有一個(gè)就是蒸鍍機(jī)，中國(guó)一直以來(lái)都是面板需求大國(guó)，從京東方成功突破日韓面板企業(yè)壟斷之后，為中國(guó)每年節(jié)省了數(shù)千億的進(jìn)口費(fèi)用。但是中國(guó)雖然成功掌握了面板制造技術(shù)，但是在新一代的OLED面板上和三星還有差距，其中之一的原因就是中國(guó)無(wú)法獲取到足夠的高端蒸鍍機(jī)。OLED最早是發(fā)端于學(xué)術(shù)研究上電致發(fā)光有機(jī)材料的發(fā)現(xiàn)，比較公認(rèn)的是柯達(dá)公司的鄧青云發(fā)明了第一個(gè)OLED器件并申請(qǐng)了專利。

通俗地說，在生產(chǎn)OLED屏的過程中，要通過真空蒸鍍機(jī)將OLED有機(jī)發(fā)光材料精準(zhǔn)、均勻、可控地蒸鍍到玻璃基板上，除了發(fā)光材料，金屬電極等也是這樣蒸上去的，具有成膜方法簡(jiǎn)單、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨(dú)特等優(yōu)點(diǎn)。

蒸鍍機(jī)及蒸鍍工藝是OLED屏生產(chǎn)過程中難度最高的環(huán)節(jié)之一，蒸鍍機(jī)為什么這么難造，要知道，這個(gè)設(shè)備可是一個(gè)龐然大物，該設(shè)備的真空生產(chǎn)線有 100 米長(zhǎng)，尺寸相當(dāng)于大型電視屏幕的玻璃面板透過機(jī)械臂在幾個(gè)廠間之間移動(dòng)，有機(jī)材料的蒸發(fā)制程可以將紅、綠、藍(lán)像素點(diǎn)儲(chǔ)存在屏幕表面?？梢哉f，擁有了高性能的真空蒸鍍機(jī)才算是真正拿到了OLED屏生產(chǎn)的入場(chǎng)券。

掌握了高端蒸鍍機(jī)的Canon Tokki經(jīng)過幾十年的發(fā)展，也才343名員工。一臺(tái)設(shè)備才賣1.14億美元。一年目前僅能生產(chǎn)出七臺(tái)，可見企業(yè)規(guī)模有多少，收入和利潤(rùn)有多低。但是它卻站在了OLED產(chǎn)業(yè)鏈的頂層，主宰了整個(gè)OLED產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，任何OLED都受限于它。尤其對(duì)于中國(guó)而言，蒸鍍機(jī)可以說是一項(xiàng)限制中國(guó)OLED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的設(shè)備，2019年中國(guó)OLED市場(chǎng)需求達(dá)2.89億片。到2022年OLED市場(chǎng)需求達(dá)將要達(dá)到4.5億片，這都需要先進(jìn)的蒸鍍機(jī)提供支持。

但是Canon Tokki為了感謝三星的支持，所以最開始的幾年，年產(chǎn)量3~4臺(tái)時(shí)，全部供貨給三星，所以三星在OLED占的先機(jī)，搶占95%的市場(chǎng)。直到2017年，Canon Tokki年產(chǎn)量達(dá)7臺(tái)，LGD和京東方才各得一臺(tái)，這條設(shè)備也是京東方量產(chǎn)OLED屏的硬件條件。也正是得益于擁有最頂級(jí)的蒸鍍機(jī)設(shè)備，以及近20年的技術(shù)積累，三星在OLED面板良品率已經(jīng)將近80%，在屏幕素質(zhì)的調(diào)教優(yōu)化上更是一騎絕塵。

而且因?yàn)榈靡嬗趦烧叩挠押藐P(guān)系，三星關(guān)于OLED最前沿的技術(shù)都可以交給Canon Tokki來(lái)幫助其實(shí)現(xiàn)，從而讓三星在OLED上可以享受最為前沿的技術(shù)，三星和Canon Tokki已經(jīng)構(gòu)建了一個(gè)完整的OLED生態(tài)鏈。比如最近，三星與Canon Tokki合作為QD-OLED生產(chǎn)建立試驗(yàn)性質(zhì)的8代生產(chǎn)線。

可以說，正是Canon Tokki幫助三星坐穩(wěn)了OLE的市場(chǎng)龍頭老大的位置。國(guó)內(nèi)面板廠商對(duì)于高端蒸鍍機(jī)的需求一直得不到滿足，而且價(jià)格又高，交付周期又長(zhǎng)，服務(wù)還得不到保障，所以我們便想自研高端蒸鍍機(jī)。日前，合肥合巢經(jīng)開區(qū)合肥萊德設(shè)備技術(shù)有限公司已成功研制出從事OLED生產(chǎn)所必需的核心設(shè)備真空蒸鍍機(jī)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在這個(gè)領(lǐng)域的空白。

之所以取得這樣的成績(jī)，是因?yàn)橹袊?guó)借鑒了ASML崛起的經(jīng)驗(yàn)，OLED面板生產(chǎn)鏈上下游通力合作，集結(jié)了OLED行業(yè)內(nèi)面板廠、設(shè)備廠和材料廠等多位資深專家進(jìn)行攻關(guān)，終于打破國(guó)外高端蒸鍍機(jī)的壟斷，研制出了性價(jià)比高的OLED真空蒸鍍機(jī)，一旦國(guó)內(nèi)有能力研發(fā)出OLED蒸鍍?cè)O(shè)備，國(guó)外也開始降價(jià)。

除了合肥萊德，還有其他幾家目前也在向蒸鍍?cè)O(shè)備市場(chǎng)進(jìn)發(fā)，分別是韓國(guó)的SUNIC、SFA，這兩家是三星從Tokki的設(shè)備上copy出來(lái)的企業(yè)，國(guó)內(nèi)也有企業(yè)采購(gòu)了，不過都是試驗(yàn)線設(shè)備而且差距很大。還有一家是日本的ULVAC，這家的技術(shù)還不穩(wěn)定，錯(cuò)誤率比較高。不管怎么樣，從無(wú)到有都要付出巨大的努力，也期待中國(guó)生產(chǎn)的蒸鍍機(jī)可以生產(chǎn)，向全球發(fā)展。

（責(zé)任編輯：fqj）