據(jù)麥姆斯咨詢報道，知微傳感在MEMS微振鏡領(lǐng)域有著十余載研發(fā)經(jīng)驗，并且積累了大量核心技術(shù)，在成立的近兩年時間里可謂發(fā)展迅速、碩果累累。時隔一年，知微傳感市場總監(jiān)何偉先生專程攜新品再次出席由麥姆斯咨詢主辦的『第二十四屆“微言大義”研討會：3D視覺技術(shù)及應(yīng)用』，與眾位專家和廠商共同分享這一年來的收獲與心得。

靜電驅(qū)動MEMS微振鏡在3D視覺領(lǐng)域具備天然技術(shù)優(yōu)勢一開場，何偉先生為大家普及了微振鏡在MEMS大家庭中的角色：“MEMS分為傳感器和執(zhí)行器，傳感器大家都聽得比較多，就是把環(huán)境信號轉(zhuǎn)化為電信號的器件；而我們所做的微振鏡屬于執(zhí)行器，執(zhí)行器是把電信號轉(zhuǎn)化成某種機械動作。即MEMS微振鏡將電信號轉(zhuǎn)化成鏡面擺動，從而實現(xiàn)激光光束方向的偏轉(zhuǎn)掃描。”

知微傳感具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的靜電驅(qū)動MEMS微振鏡芯片

常見的MEMS微振鏡驅(qū)動方式有四種：靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、電熱驅(qū)動、壓電驅(qū)動。其中靜電驅(qū)動的MEMS微振鏡在3D視覺領(lǐng)域有著天然的技術(shù)優(yōu)勢：它可以實現(xiàn)最小體積、最低功耗，工藝相對簡單，可靠性和成品率高，同時成本也最低。何偉先生解釋說：“MEMS微振鏡主要市場是替代目前傳統(tǒng)的機械電機，將體積做得非常小，功耗也降得非常低，提高系統(tǒng)可靠性，降低成本?！蓖瑫r，何偉先生介紹：“知微傳感在國內(nèi)擁有成熟的4寸線代工研發(fā)渠道，芯片迭代速度在該領(lǐng)域遙遙領(lǐng)先，并且可以根據(jù)客戶需求助其快速定制驗證，一旦方案可行性確定，就轉(zhuǎn)到6寸及8寸線進行量產(chǎn)工藝導(dǎo)入，實現(xiàn)更低成本、更大量的供給，幫助客戶占領(lǐng)市場先機?！盡EMS微振鏡動態(tài)結(jié)構(gòu)光方案優(yōu)于傳統(tǒng)DLP方案，瞄準工業(yè)級3D應(yīng)用何偉先生首先幫我們梳理了3D視覺技術(shù)的分類，讓我們可以清晰地看出MEMS微振鏡方案所使用的技術(shù)。知微傳感的3D相機方案利用了三角測距法中的時間編碼，即為動態(tài)結(jié)構(gòu)光編碼方式，是目前可實現(xiàn)超高精度的3D測量方案之一，在無序分揀、工業(yè)測量、機械手引導(dǎo)等工業(yè)級3D視覺應(yīng)用中更為準確且有效。

3D視覺技術(shù)的詳細分類

傳統(tǒng)3D掃描常用DLP方案，即為采用德州儀器（TI）的數(shù)字微鏡陣列的數(shù)字光處理，來實現(xiàn)動態(tài)結(jié)構(gòu)光的投射，這與基于MEMS微振鏡的結(jié)構(gòu)光有顯著區(qū)別。何偉先生解釋道：“這兩種方案的共同特點是3D成像精度非常高，基于MEMS微振鏡的3D成像精度可達到亞毫米級精度，最優(yōu)實現(xiàn)0.2毫米。同時基于MEMS微振鏡可實現(xiàn)無焦的結(jié)構(gòu)光投射，實現(xiàn)大景深探測。而在一些人體建模場景下結(jié)合紅外激光可以實現(xiàn)無感探測，在器件尺寸和成本上也具有顯著優(yōu)勢?！?/p>

知微傳感3D相機掃描的原始云點圖

何偉先生詳細講解工業(yè)級的3D相機的應(yīng)用場景。第一個典型的應(yīng)用場景案例是“在物流倉儲中對包裹進行尺寸測量。基于ToF技術(shù)的3D相機在深度方向測量有優(yōu)勢，精度可以達到5毫米，但是在XY方向分辨率只有640 x 480，顯得不足。知微傳感采用動態(tài)結(jié)構(gòu)光的3D相機可以彌補這樣的不足，可以實現(xiàn)更高的探測精度。在物流行業(yè)，我們的3D相機不僅僅可以做尺寸的測量，也可以實現(xiàn)貨物的分揀等需求?！钡诙€應(yīng)用案例則是“無序分揀，無序存放的物體，使用3D相機對其進行拍攝，實現(xiàn)對物體的定位。應(yīng)用于機械臂做視覺引導(dǎo)，這是3D相機最主要的功能?！绷硗庖粋€有趣的典型應(yīng)用是“在制鞋機器人中，通過對鞋底的掃描，對鞋底邊緣進行提取，引導(dǎo)機械臂對鞋底進行打粗和涂膠。”最后，何偉先生還介紹了第四種工業(yè)應(yīng)用案例——插接件浮高檢測：“目前我們一個汽車行業(yè)客戶需要確認保險絲是不是接觸良好，主要依靠保險絲的接插件高度是否在合理的設(shè)定范圍內(nèi)而判斷。我們可以通過相機對整個保險盒進行拍攝，提取到保險絲的深度信息，實現(xiàn)判斷。其精度需求在0.5毫米以內(nèi)，這是目前ToF方案解決不了的?！辈季只旌瞎虘B(tài)激光雷達，令中國掃描芯拔得頭籌！何偉先生認為“基于MEMS微振鏡的混合固態(tài)激光雷達是實現(xiàn)激光雷達小型化和低成本化最有效的方式之一，也是被公認為商業(yè)路徑最短的方式。”知微傳感所推出的MEMS激光雷達核心掃描模組特點在于：將驅(qū)動、控制以及閉環(huán)反饋集成在一起，只要接電做好配置就可自動運行，用戶完全不用操心如何讓微振鏡穩(wěn)定工作，顯著減少客戶二次開發(fā)的工作量。何偉先生介紹“使用微型化和芯片化的MEMS掃描模組可以實現(xiàn)高幀率和中遠距離的激光雷達，從而降低體積和成本。我們已有客戶實現(xiàn)分辨率為0.05度，幀率為1.15kHz的激光雷達，，同時我們也可以根據(jù)客戶實際需求進行定制工作，滿足用戶不同場景下激光雷達的性能需求?！弊詈?，何偉先生還介紹了用MEMS微振鏡完成的廣角式接收混合固態(tài)激光雷達方案，并比較了英飛凌和LeddarTech的混合固態(tài)激光雷達方案。

知微傳感的MEMS掃描模組特點

最后，何偉先生攜合作伙伴深圳云智數(shù)據(jù)CEO戴毅和蘇州鐳圖光電CEO朱俊發(fā)布了新品：Argus系列高精度3D相機以及激光雷達MEMS掃描模組，將研討會上午場推向了高潮。會議當天，不少觀眾前往知微傳感在研討會同期展會上（Sensor China 2018）的展位與知微傳感的工作人員進行了更深入的探討。

知微傳感舉辦新品發(fā)布會并在同期展會（Sensor China 2018）上演示產(chǎn)品