Flexfilm文章

• 臺階儀在刻蝕工藝RIE中的應(yīng)用：關(guān)鍵參數(shù)精確調(diào)控與表面粗糙度控制2025-12-15 18:03

  

  InP-on-Si（IMOS）作為一種新興的光子集成平臺，因其能夠?qū)⒏咝阅苡性磁c無源光子器件異質(zhì)集成在硅基電路之上而備受關(guān)注。然而，隨著波導(dǎo)尺寸的急劇縮小，光場與波導(dǎo)表面的相互作用顯著增強(qiáng)，導(dǎo)致刻蝕工藝引入的側(cè)壁與底面粗糙度成為制約傳播損耗的主要因素。同時，為實現(xiàn)緊湊的光路設(shè)計與低偏振串?dāng)_，要求刻蝕剖面具有近乎垂直的側(cè)壁形貌。同時，為實現(xiàn)緊湊的光路設(shè)計與低偏

  刻蝕工藝 測量儀器 1329瀏覽量

• 橢偏儀在薄膜光學(xué)表征中的應(yīng)用：實現(xiàn)25.5%EQE的穩(wěn)定電致發(fā)光二極管2025-12-12 18:03

  

  膠體量子阱（CQWs）因其發(fā)光波長可調(diào)、譜線窄、光致發(fā)光量子產(chǎn)率高及穩(wěn)定性優(yōu)異，被視為新一代發(fā)光材料。其準(zhǔn)二維結(jié)構(gòu)產(chǎn)生強(qiáng)烈的垂直量子限域效應(yīng)，同時保持面內(nèi)激子離域特性，從而形成取向化的躍遷偶極矩，顯著增強(qiáng)了光輸出耦合能力，理論上外量子效率可接近40%。然而，要實現(xiàn)具有主導(dǎo)水平偶極取向的CQW薄膜的大面積可控制備，目前仍是巨大挑戰(zhàn)。Flexfilm全光譜橢偏儀

  光學(xué) 發(fā)光二極管 薄膜 350瀏覽量

• MEMS制造中的臺階測量：原理、技術(shù)及其在工藝監(jiān)控中的關(guān)鍵作用2025-12-10 18:04

  

  隨著微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件向微型化、高深寬比發(fā)展，其內(nèi)部微細(xì)臺階結(jié)構(gòu)的精確測量成為保障器件性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。然而，現(xiàn)有測量手段面臨兩難選擇：非接觸式方法（如光學(xué)干涉、原子力顯微鏡）往往設(shè)備昂貴、操作復(fù)雜或?qū)悠酚刑囟ㄏ拗疲欢鴤鹘y(tǒng)接觸式臺階儀雖簡單可靠，但其探針測量力較大，易劃傷MEMS中常見的軟質(zhì)材料（如硅片），F(xiàn)lexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀

  mems 測量 監(jiān)控 349瀏覽量

• 橢偏術(shù)精準(zhǔn)測量超薄膜n,k值及厚度：利用光學(xué)各向異性襯底2025-12-08 18:01

  

  傳統(tǒng)橢偏測量在同時確定薄膜光學(xué)常數(shù)（復(fù)折射率n,k）與厚度d時，通常要求薄膜厚度大于10nm，這限制了其在二維材料等超薄膜體系中的應(yīng)用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本研究提出一種新方法：利用各向異性襯底打破橢偏分析中n,k,d的參數(shù)耦合。模擬結(jié)果表明，該方法可在單次測量中

  光學(xué) 測量 420瀏覽量

• 臺階儀的原理及常見問題解答2025-12-05 18:04

  

  表面特征是材料、化學(xué)等領(lǐng)域的重要研究內(nèi)容。準(zhǔn)確評價表面形貌與特征，對材料性能分析、工藝改進(jìn)具有重要意義。臺階高度測量在表面研究中作用突出：一方面可用于分析微觀形貌，另一方面在半導(dǎo)體制造等工業(yè)中涉及大量臺階檢測需求。臺階高度是薄膜工藝中的關(guān)鍵參數(shù)，其精確、快速測定與控制是保障材料質(zhì)量、提升生產(chǎn)效率的重要手段。因此，表面線條寬度、間距、臺階高度、粗糙度的測量，以

  半導(dǎo)體制造 材料 275瀏覽量

• 光譜橢偏術(shù)在等離子體光柵傳感中的應(yīng)用：參數(shù)優(yōu)化與亞皮米級測量精度2025-12-03 18:05

  

  基于衍射的光學(xué)計量方法（如散射測量術(shù)）因精度高、速度快，已成為周期性納米結(jié)構(gòu)表征的關(guān)鍵技術(shù)。在微電子與生物傳感等前沿領(lǐng)域，對高性能等離子體納米結(jié)構(gòu)（如金屬光柵）的精確測量提出了迫切需求，然而現(xiàn)有傳統(tǒng)光學(xué)模型（如有效介質(zhì)近似）往往難以準(zhǔn)確描述其復(fù)雜的光學(xué)響應(yīng)，這限制了相關(guān)器件在尺寸計量與高靈敏度傳感中的應(yīng)用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與

  光譜 測量 443瀏覽量

• 基于光學(xué)成像的沉積薄膜均勻性評價方法及其工藝控制應(yīng)用2025-12-01 18:02

  

  靜電噴涂沉積（ESD）作為一種經(jīng)濟(jì)高效的薄膜制備技術(shù)，因其可精確調(diào)控薄膜形貌與化學(xué)計量比而受到廣泛關(guān)注。然而，薄膜的厚度均勻性是影響其最終性能與應(yīng)用可靠性的關(guān)鍵因素，其優(yōu)劣直接受到電壓、流速、針基距等多種工藝參數(shù)的復(fù)雜影響。傳統(tǒng)均勻性評估方法往往效率較低或具有破壞性，難以滿足快速工藝優(yōu)化的需求。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵

  ESD 光學(xué)成像 647瀏覽量

• 光譜橢偏儀SE和紫外光譜UV在瀝青膠結(jié)料性能表征及老化評估研究2025-11-28 18:03

  

  瀝青路面是全球道路網(wǎng)絡(luò)的主要構(gòu)成部分，但其在使用過程中會持續(xù)受到交通荷載、溫度變化、氧化老化和紫外線輻射等多種環(huán)境與機(jī)械應(yīng)力的侵蝕。這些因素導(dǎo)致瀝青結(jié)合料逐漸硬化、開裂，嚴(yán)重?fù)p害路面的服役性能與使用壽命。然而，傳統(tǒng)上依賴流變學(xué)或經(jīng)驗性指標(biāo)的表征方法，往往難以捕捉到瀝青在分子和微觀尺度上的早期老化與降解過程，從而限制了對其性能衰變機(jī)制的深入理解和有效預(yù)測。Fl

  光譜 薄膜 344瀏覽量

• 臺階儀在Li?O-Al?O?-SiO?光敏微晶玻璃微結(jié)構(gòu)制備中的應(yīng)用2025-11-26 18:03

  

  隨著三維集成封裝（3DIC）技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)轉(zhuǎn)接板材料在高頻、高密度封裝中的性能瓶頸日益凸顯。鋰鋁硅（Li?O-Al?O?-SiO?）光敏微晶玻璃因其優(yōu)異的光敏性、高頻介電性能和可控微納加工能力，成為新一代轉(zhuǎn)接板材料的理想選擇。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生

  器件 材料 289瀏覽量

• 新型橢圓偏振法SHEL在納米尺度面積表面測量的應(yīng)用2025-11-24 18:02

  

  納米技術(shù)的發(fā)展催生了從超光滑表面到復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)表面的制備需求，這些表面的精確測量對質(zhì)量控制至關(guān)重要。然而，當(dāng)前納米尺度表面測量技術(shù)面臨顯著挑戰(zhàn)：原子力顯微鏡（AFM）測量速度慢、掃描面積有限；掃描電子顯微鏡（SEM）可能損傷樣品；白光干涉儀（WLI）則受限于橫向分辨率和參考面需求。傳統(tǒng)橢偏儀雖能通過分析偏振態(tài)變化間接表征表面，但其依賴旋轉(zhuǎn)光學(xué)元件的設(shè)計易引入

  顯微鏡 材料 測量 2641瀏覽量