Flexfilm文章

• 橢偏儀與DIC系統(tǒng)聯(lián)用測量半導(dǎo)體超薄圖案化SAM薄膜厚度與折射率2025-08-11 18:02

  

  超薄膜的表征技術(shù)對確定半導(dǎo)體薄膜材料（如金屬、金屬氧化物、有機薄膜）的最佳性能至關(guān)重要。本研究提出將微分干涉相襯DIC系統(tǒng)與橢偏儀聯(lián)用表征超薄圖案化自組裝單分子膜（SAM）：通過DIC實時提供高對比度圖像指導(dǎo)測量位置，結(jié)合改進(jìn)的橢偏分析模型，實現(xiàn)對圖案化SAM薄膜厚度與折射率的高精度無損表征。費曼儀器薄膜厚度測量技術(shù)貫穿于材料研發(fā)、生產(chǎn)監(jiān)控到終端應(yīng)用的全流程

  dic 半導(dǎo)體 測量 837瀏覽量

• 臺階儀測量膜厚：揭示氫離子遷移對磁性薄膜磁性的調(diào)控規(guī)律2025-08-08 18:03

  

  磁性薄膜材料是電子器件小型化的基礎(chǔ)，被廣泛應(yīng)用在生物、化學(xué)、環(huán)境和計算機等領(lǐng)域。本文聚焦電場驅(qū)動的氫離子（H?）調(diào)控磁性薄膜的磁性，對Pt/Co、Pt/CoFe、Pt/CoFeB、Pt/FeNi結(jié)構(gòu)薄膜中利用H?驅(qū)動的磁性調(diào)控進(jìn)行探索研究。費曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準(zhǔn)測量解決方案，F(xiàn)lexfilm探針式臺階儀可以精確測量磁控濺射技術(shù)制備多種磁性薄

  測量 電子器件 薄膜 1257瀏覽量

• 橢圓偏振光譜儀：半導(dǎo)體、聚合物和生物傳感器材料領(lǐng)域的應(yīng)用綜述2025-08-06 18:02

  

  橢圓偏振光譜儀(SE)，簡稱橢偏儀以其非破壞性和非接觸性、高精度和高靈敏度、原位測量能力以及廣泛的適用性等技術(shù)優(yōu)勢,在材料科學(xué)、半導(dǎo)體物理、微電子學(xué)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。橢偏儀精確測量薄膜的厚度、光學(xué)帶隙、折射率、消光系數(shù)、薄膜組成、界面和表面粗糙度等特征，對于理解薄膜的光學(xué)性能、電學(xué)性能以及機械性能至關(guān)重要。費曼儀器作為國內(nèi)領(lǐng)先的薄膜材料檢測解決方案提供商

  傳感器 光譜儀 半導(dǎo)體 1811瀏覽量

• 汽車玻璃透過率的精準(zhǔn)測量：優(yōu)化前擋風(fēng)玻璃膜的透光率與隔熱性能2025-08-04 18:02

  

  前擋風(fēng)玻璃是影響汽車采光、熱舒適與空調(diào)能耗的重要因素。太陽光透過汽車玻璃使汽車內(nèi)部溫度升高，不僅造成車內(nèi)設(shè)施老化加快，同時也增大了汽車空調(diào)負(fù)荷和油耗。費曼儀器為汽車玻璃提供專業(yè)的光學(xué)特性（透射率、反射率等）分析的，其中Flexfilm汽車玻璃透過率檢測儀通過對汽車玻璃透光率進(jìn)行檢測，為開發(fā)在紫外線、紅外線光譜范圍內(nèi)透過率小，而在可見光范圍內(nèi)透過率大的透光隔熱

  汽車 測量 1980瀏覽量

• 臺階儀在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用 | 精準(zhǔn)監(jiān)測溝槽刻蝕工藝的臺階高度2025-08-01 18:02

  

  在半導(dǎo)體制造中，溝槽刻蝕工藝的臺階高度直接影響器件性能。臺階儀作為接觸式表面形貌測量核心設(shè)備，通過精準(zhǔn)監(jiān)測溝槽刻蝕形成的臺階參數(shù)（如臺階高度、表面粗糙度），為工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。Flexfilm費曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準(zhǔn)測量解決方案，F(xiàn)lexfilm探針式臺階儀可以在半導(dǎo)體溝槽刻蝕工藝的高精度監(jiān)測研究通過校準(zhǔn)規(guī)范、誤差分析與標(biāo)準(zhǔn)樣板定值，實現(xiàn)

  半導(dǎo)體 器件 監(jiān)測 1059瀏覽量

• 橢偏儀在半導(dǎo)體薄膜工藝中的應(yīng)用：膜厚與折射率的測量原理和校準(zhǔn)方法2025-07-30 18:03

  

  半導(dǎo)體測量設(shè)備主要用于監(jiān)測晶圓上膜厚、線寬、臺階高度、電阻率等工藝參數(shù)，實現(xiàn)器件各項參數(shù)的準(zhǔn)確控制，進(jìn)而保障器件的整體性能。橢偏儀主要用于薄膜工藝監(jiān)測，基本原理為利用偏振光在薄膜上、下表面的反射，通過菲涅爾公式得到薄膜參數(shù)與偏振態(tài)的關(guān)系，計算薄膜的折射率和厚度。Flexfilm費曼儀器作為薄膜測量技術(shù)革新者，致力于為全球工業(yè)智造提供精準(zhǔn)測量解決方案，公司自主

  半導(dǎo)體 測量 監(jiān)測 1363瀏覽量

• 臺階儀測試原理及應(yīng)用 | 半導(dǎo)體ZnO薄膜厚度測量及SERS性能研究2025-07-28 18:04

  

  表面增強拉曼散射SERS技術(shù)在痕量檢測中具有獨特優(yōu)勢，但其性能依賴于活性基底的形貌精度。ZnO作為一種新型半導(dǎo)體薄膜材料，因其本征微米級表面粗糙度通過在其表面覆蓋一層貴金屬Au，能夠大大地提升SERS活性。而ZnO膜厚直接影響Au納米顆粒的分布與"熱點"形成。Flexfilm費曼儀器提供精準(zhǔn)的膜厚測試，其中Flexfilm探針式臺階儀覆蓋納米至微米級薄膜的精

  半導(dǎo)體 測試 測量 891瀏覽量

• 全光譜橢偏儀在二維材料中的應(yīng)用 | 解析PtSe?光學(xué)常數(shù)厚度依賴關(guān)系2025-07-25 18:02

  

  過渡金屬硫化物（TMDs）的厚度可調(diào)能帶結(jié)構(gòu)使其在光電子領(lǐng)域備受關(guān)注。PtSe?作為新型層狀材料，具有從半導(dǎo)體到半金屬的相變特性，帶隙可調(diào)控。然而，其精確光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)長期缺失，制約器件優(yōu)化。橢圓偏振儀憑借亞納米級精度、無損測量及同步獲取膜厚與光學(xué)參數(shù)的優(yōu)勢，成為解決該問題的關(guān)鍵手段。Flexfilm費曼儀器作為國內(nèi)領(lǐng)先測量供應(yīng)商所提供的Flexfilm全光譜

  光譜 材料 854瀏覽量

• 汽車玻璃透光率檢測 | 制備高透光(Ag,Cu)/TiO?汽車玻璃隔熱膜2025-07-23 18:02

  

  汽車玻璃需在保證透光的同時高效隔熱，以應(yīng)對太陽輻射引發(fā)的升溫、老化及能耗問題。其關(guān)鍵在于選擇性阻隔紅外和紫外光?，F(xiàn)有隔熱膜研究對可見光平均透過率與隔熱性能的系統(tǒng)研究不足。Flexfilm費曼儀器在汽車工業(yè)領(lǐng)域從研發(fā)、生產(chǎn)到質(zhì)檢的全流程中均有嚴(yán)格監(jiān)控。本研究采用磁控濺射技術(shù)制備(Ag,Cu)/TiO?汽車玻璃隔熱膜，并利用Flexfilm汽車玻璃透過率檢測儀對

  儀器 檢測 汽車 636瀏覽量

• 半導(dǎo)體薄膜厚度測量丨基于光學(xué)反射率的厚度測量技術(shù)2025-07-22 09:54

  

  在半導(dǎo)體制造中，薄膜的沉積和生長是關(guān)鍵步驟。薄膜的厚度需要精確控制，因為厚度偏差會導(dǎo)致不同的電氣特性。傳統(tǒng)的厚度測量依賴于模擬預(yù)測或后處理設(shè)備，無法實時監(jiān)測沉積過程中的厚度變化，可能導(dǎo)致工藝偏差和良率下降。為此，研究團(tuán)隊開發(fā)了一種基于激光反射率的光學(xué)傳感器，能夠在真空環(huán)境下實時測量氧化膜（SiO?）、氮化膜（Si?N?）和多晶硅（p-Si）的厚度。FlexF

  傳感器 半導(dǎo)體 測量 1965瀏覽量