動(dòng)態(tài)

• 發(fā)布了文章 2025-10-27 18:04

  如何選擇臺階儀的觸針針尖？基于三維仿真與譜分析的選型標(biāo)準(zhǔn)研究

  

  臺階儀因其測量的直接性和數(shù)據(jù)的可追溯性，在表面形貌精密測量中始終占據(jù)關(guān)鍵地位。然而，其觸針的球狀針尖在掃描表面時(shí)，無法完全復(fù)現(xiàn)真實(shí)的峰谷結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致所測輪廓與實(shí)際輪廓存在差異，此現(xiàn)象被稱為“輪廓畸變”或“機(jī)械濾波”。Flexfilm探針式臺階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效率提升提供

  三維仿真 儀器 測量

  271瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2025-10-24 18:09

  光譜橢偏儀入門指南：原理、方法與基礎(chǔ)應(yīng)用

  

  在材料科學(xué)和光學(xué)表征領(lǐng)域，精確獲取薄膜厚度與光學(xué)常數(shù)是理解材料性能的關(guān)鍵。然而，傳統(tǒng)測量方法往往面臨破壞樣品、精度不足或難以適用于復(fù)雜微觀結(jié)構(gòu)的局限。針對這一問題，光譜橢偏儀（SE）作為一種非侵入式光學(xué)技術(shù)，通過分析偏振光在反射或透射過程中發(fā)生的振幅比（Ψ）和相位差（Δ）變化，實(shí)現(xiàn)對表面、界面和薄膜的高精度表征。Flexf

  光譜 測試

  970瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2025-10-22 18:03

  薄膜測厚選CWL法還是觸針法？針對不同厚度與材質(zhì)的臺階儀技術(shù)選型指南

  

  在微電子與MEMS領(lǐng)域，薄膜厚度測量對薄膜沉積、產(chǎn)品測試及失效分析至關(guān)重要，有機(jī)半導(dǎo)體因低成本、室溫常壓易加工及“濕法”制備優(yōu)勢，在OLED等器件中潛力大，但其一存在膜層柔軟、附著力差等問題，影響厚度測量準(zhǔn)確性；其二常用的觸針式臺階儀雖測量范圍廣，卻因接觸式測量易破壞軟膜，非接觸的彩色白光（CWL）法雖可掃描大面積表面，卻受薄膜光學(xué)不均勻性影響精度。Flex

  測厚 測量 薄膜

  2.3k瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2025-10-20 18:04

  橢偏儀表征薄膜非晶相 | 精準(zhǔn)分析不同襯底溫度下氫化非晶氧化硅(i-a-SiO?:H)薄膜的光學(xué)性質(zhì)與結(jié)構(gòu)

  

  本征氫化非晶氧化硅（i-a-SiO?:H）是a-Si:H/c-Si異質(zhì)結(jié)太陽電池的重要鈍化材料，兼具PECVD低溫沉積、帶隙寬等優(yōu)勢，但i-a-SiO?:H鈍化性能與制備工藝、儀器密切相關(guān)；目前室溫（25℃）下在n型直拉單晶硅（n-Cz-Si）表面沉積i-a-SiO?:H時(shí)，硅片少子壽命極低，鈍化效果差，且襯底溫度對其鈍化性能的影響尚不明確；Flexfilm

  光學(xué) 太陽能電池

  749瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2025-10-17 18:03

  臺階儀在表面計(jì)量學(xué)的應(yīng)用：基于表面紋理最大高度S±3σ的表征研究

  

  表面形貌的平均高度與最大幅度直接影響零部件的使用功能。工業(yè)中常通過二維輪廓測量獲取相關(guān)參數(shù)，但輪廓最大高度存在較大波動(dòng)性。Flexfilm探針式臺階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效率提升提供數(shù)據(jù)支撐。本研究提出基于三維面掃描測量結(jié)果，通過將表面最大高度修正至材料比率0.13%-99

  儀器 測量 輪廓測量

  559瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2025-10-15 18:04

  橢偏儀在精密薄膜中的應(yīng)用：基于單驅(qū)動(dòng)變角結(jié)構(gòu)的高重復(fù)性精度控制系統(tǒng)

  

  橢偏測試技術(shù)具有非接觸、高靈敏、無樣品破壞優(yōu)勢，廣義橢偏儀因可測各向同性與異性樣品成研究熱點(diǎn)，但需變角結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)多角度測量。當(dāng)前立式橢偏儀存在雙電機(jī)配合難或裝配精度高問題，臥式橢偏儀光路不易對準(zhǔn)，且缺乏低成本、高集成度且精確變角控制的方案。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本文提

  控制系統(tǒng) 薄膜

  514瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2025-10-13 18:04

  臺階儀在多鍍層膜厚中的應(yīng)用：基于單基體多膜標(biāo)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)0.5%高精度測量

  

  表面涂覆技術(shù)是現(xiàn)代制造業(yè)的關(guān)鍵工藝，鍍層厚度是其核心質(zhì)量指標(biāo)。目前，單鍍層厚度測量技術(shù)已較為成熟，但多鍍層厚度標(biāo)準(zhǔn)仍存在溯源精度低、量值不統(tǒng)一等問題。Flexfilm探針式臺階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效率提升提供數(shù)據(jù)支撐。本研究基于真空鍍膜技術(shù)和單鍍層溯源方法，成功研制出單基

  儀器 測量

  368瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2025-10-10 18:05

  橢偏儀常見技術(shù)問題解答（二）

  

  橢偏儀是一種基于橢圓偏振分析的光學(xué)測量儀器，通過探測偏振光與樣品相互作用后偏振態(tài)的變化，獲取材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。1光譜橢偏法如何測定折射率?flexfilmΨ的振蕩具有特定的振幅除了厚度信息，數(shù)據(jù)振蕩的形狀取決于薄膜的折射率。Ψ的振蕩曲線

  儀器 光學(xué)測量

  449瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2025-09-29 18:05

  臺階儀/橢偏儀在不同半導(dǎo)體關(guān)鍵工序中的計(jì)量技術(shù)與應(yīng)用

  

  隨著半導(dǎo)體技術(shù)向高集成度與高性能方向不斷發(fā)展，工藝尺寸持續(xù)縮小，制造工藝對膜厚、線寬、臺階高度及電阻率等關(guān)鍵參數(shù)的測量精度提出了更高要求。然而，半導(dǎo)體測量設(shè)備在實(shí)際應(yīng)用中面臨量值溯源體系不完善、測量結(jié)果不一致等突出問題，直接影響工藝控制的準(zhǔn)確性與器件性能的可靠性。Flexfilm探針式臺階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表

  半導(dǎo)體 測量

  9.5k瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2025-09-26 18:04

  橢偏儀常見技術(shù)問題解答（一）

  

  橢偏儀是一種基于橢圓偏振分析的光學(xué)測量儀器，通過探測偏振光與樣品相互作用后偏振態(tài)的變化，獲取材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。1橢偏儀測量什么?flexfilm橢偏儀利用偏振光來表征薄膜和塊體材料。當(dāng)光與樣品結(jié)構(gòu)相互作用時(shí)，其偏振狀態(tài)會發(fā)生變化。測量結(jié)

  儀器 光學(xué) 測量儀器

  918瀏覽量