雙色調(diào)顯影-------光學(xué)光刻和極紫外光刻
雙色調(diào)顯影(DTD)最早是由Asano提出的。DTD通過(guò)兩次單獨(dú)的顯影去除最高和最低曝光劑量區(qū)域的光....
一文詳解多重曝光技術(shù)
有一些光學(xué)分辨率增強(qiáng)技術(shù)是非常依賴于圖形特征的。例如,可以通過(guò)合適方向的二極照明來(lái)增強(qiáng)密集線空?qǐng)D形的....
OPC模型和其工藝流程的簡(jiǎn)單介紹
目前,基于模型的 OPC已成為先進(jìn)半導(dǎo)體制造的標(biāo)準(zhǔn)程序。圖4-15 表明現(xiàn)代 OPC模型包含了考慮光....
無(wú)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管器件結(jié)構(gòu)與工藝
現(xiàn)有的晶體管都是基于 PN 結(jié)或肖特基勢(shì)壘結(jié)而構(gòu)建的。在未來(lái)的幾年里,隨著CMOS制造技術(shù)的進(jìn)步,器....
CMOS超大規(guī)模集成電路制造工藝流程的基礎(chǔ)知識(shí)
本節(jié)將介紹 CMOS 超大規(guī)模集成電路制造工藝流程的基礎(chǔ)知識(shí),重點(diǎn)將放在工藝流程的概要和不同工藝步驟....
無(wú)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管器件的發(fā)展歷程
2010年,愛(ài)爾蘭 Tyndall 國(guó)家研究所的J.P.Colinge 等人成功研制了三柵無(wú)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)....
無(wú)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管詳解
當(dāng)代所有的集成電路芯片都是由PN結(jié)或肖特基勢(shì)壘結(jié)所構(gòu)成:雙極結(jié)型晶體管(BJT)包含兩個(gè)背靠背的PN....
結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)解析
結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管(Junction Field-Effect Transistor, JFET)是在....
電激發(fā)式藍(lán)紫光垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)
上述實(shí)驗(yàn)結(jié)果為近年來(lái)局限在光激發(fā)的氮化鎵?VCSEL?的結(jié)果,一直到2008年,作者實(shí)驗(yàn)室首次在77....
InAs量子點(diǎn)面發(fā)射激光器的概述
東京大學(xué)荒川泰彥教授(Y. Arakawa)在1982年提出量子點(diǎn)結(jié)構(gòu)的概念,在1994年柏林工業(yè)大....
InGaAs量子井面射型雷射介紹
由上述 InP 系列材料面射型雷射發(fā)展可以發(fā)現(xiàn),要制作全磊晶結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)波長(zhǎng)面射型雷射難度較高,因此在1....
InP異質(zhì)接面/量子井面射型雷射
為了應(yīng)用在光纖通訊上有效提升訊號(hào)傳輸距離,對(duì)于發(fā)光波長(zhǎng)1310nm?與1550nm的面射型雷射需求也....